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最新专利技术
  • 离子路由装置
    离子路由装置_赛默飞世尔科技(不来梅)有限责任公司_202511487345.9
    提供了一种离子路由装置，该离子路由装置包括至少三个分支，该至少三个分支在交汇部处交汇。每个分支限定通过离子路由装置的离子路径，通过每个分支的离子路径限定分支的纵向轴线。每个分支包括纵向延伸的电极，并且每个分支的纵向延伸的电极与相邻分支的纵向...
    2026-04-28
  • 用于在选择性操作的端口之间引导离子的多通道离子路由器
    用于在选择性操作的端口之间引导离子的多通道离子路由器_赛默菲尼根有限责任公司_202511479803.4
    一种离子路由器，该离子路由器包括：一对相对表面；至少三个端口，每个端口限定该一对相对表面之间的开口；和多个离子通道，该多个离子通道由耦合到该一对表面的电极阵列限定。至少一个端口被配置作为进入端口，离子通过该进入端口被接收到该离子路由器中，并...
    2026-04-28
  • 一种用于同位素质谱分析的超低本底自动进样器
    一种用于同位素质谱分析的超低本底自动进样器_中国科学院南海海洋研究所_202512056980.8
    本发明涉及同位素质谱分析技术设备技术领域，特指一种用于同位素质谱分析的超低本底自动进样器，包括进样器主体、纯化机构和驱动机构；进样器主体内设置进样空间，进样空间与进样盘相连通；进样器主体内还设置进样推杆；纯化结构包括密闭腔体，密闭腔体分别与...
    2026-04-28
  • 减少微通道板质量歧视的方法
    减少微通道板质量歧视的方法_杭州谱育科技发展有限公司_202512055579.2
    本发明涉及质谱技术，具体提供了减少微通道板质量歧视的方法，包括以下步骤：A1.离子被第三电极的电场弹射，经过无场区后穿过第一电极和第二电极，被微通道板接收，获得质量段的离子飞行时间信息；A2.获得选择的质荷比离子的飞行时间t和离子强度St；...
    2026-04-28
  • 利用压电效应实现的无电源小型化电离装置
    利用压电效应实现的无电源小型化电离装置_西安电子科技大学_202512054158.8
    本发明实施例公开了一种利用压电效应实现的无电源小型化电离装置，该装置包括电能腔、电离腔；所述电能腔，用于将外界施压的机械能转化为电能，并通过电压传输线接出至电离腔；所述电离腔，用于通过电能腔产生能量转化为脉冲电弧，并利用其使待测样品在电离介...
    2026-04-28
  • 衬底处理系统中具有倾斜孔的离子阱
    衬底处理系统中具有倾斜孔的离子阱_ASMIP私人控股有限公司_202511471312.5
    公开了用于衬底处理系统中的离子阱。离子阱可以包括至少一个孔。孔可以包括相对于离子阱的顶表面或底表面倾斜的内表面。孔可以防止等离子体离子穿过离子阱和/或允许等离子体自由基穿过离子阱。
    2026-04-28
  • 基板处理装置、电磁波屏蔽调整方法、基板处理方法、半导体装置的制造方法、以及程序产品
    基板处理装置、电磁波屏蔽调整方法、基板处理方法、半导体装置的制造方法、以及程序产品_株式会社国际电气_202511335604.6
    提供能够防止电磁泄漏的技术。基板处理装置具有：处理基板的容器；设于所述容器的外周的等离子体生成部，其具有被施加高频电力的电极、与所述电极连接的馈电线路、和经由所述馈电线路向所述电极供给所述高频电力的供给部；设于所述电极的外周并屏蔽从所述电极...
    2026-04-28
  • 半导体工艺腔室
    半导体工艺腔室_北京北方华创微电子装备有限公司_202411455963.0
    本申请实施例提供了一种半导体工艺腔室，其中，所述半导体工艺腔室包括：封盖组件、腔室本体、冷却组件和驱动器；所述封盖组件包括盖体和设于所述盖体的第一加热模块，所述盖体用于封盖所述腔室本体，所述第一加热模块用于对所述盖体进行加热，所述冷却组件包...
    2026-04-28
  • 半导体工艺设备及其介质窗温度控制方法和系统
    半导体工艺设备及其介质窗温度控制方法和系统_北京北方华创微电子装备有限公司_202411455859.1
    本发明提供了半导体工艺设备及其介质窗温度控制方法和系统；其中，当介质窗的检测温度达到刻蚀工艺对应的目标温度时，获取此时加热元件的实际功率，并计算实际功率和基准功率之间的功率差值；若功率差值大于预设阈值，则根据目标温度和基准功率确定温度补偿值...
    2026-04-28
  • 电子束检查装置
    电子束检查装置_株式会社荏原制作所_202511482079.0
    电子束检查装置具备使一次电子束在试样上成像的物镜。在试样施加有负的电位。物镜具有：电磁透镜，其具有维纳尔电极和磁轭，该维纳尔电极与试样相对配置且被施加负的电位，该磁轭从维纳尔电极观察时配置于与试样相反的一侧，与维纳尔电极磁连接且电绝缘，该电...
    2026-04-28
  • 一种内嵌式螺线管激光离子源装置
    一种内嵌式螺线管激光离子源装置_中山大学_202610077597.2
    本发明涉及激光离子源技术领域，具体公开一种内嵌式螺线管激光离子源装置，包括激光器、外靶室组件、内靶室组件、抽真空组件、靶、移动平台和束流拦截组件，内靶室组件包含有第一腔体、离子内引出管道、螺线管和聚焦透镜；螺线管、靶和聚焦透镜均位于第一腔体...
    2026-04-28
  • 一种基于微振动金属薄片的动态接触式磁控管变频方法
    一种基于微振动金属薄片的动态接触式磁控管变频方法_电子科技大学_202610052751.0
    一种基于微振动金属薄片的动态接触式磁控管变频方法，属于微波技术领域。本发明通过在磁控管谐振腔中设置可与金属壁实现“接触‑分离”的金属薄片，金属薄片随微波炉运行时自身的机械振动而发生振动，使得金属薄片的一端与磁控管谐振腔金属壁发生短暂接触而后...
    2026-04-28
  • 一种基于振动金属薄片的微波炉磁控管变频方法
    一种基于振动金属薄片的微波炉磁控管变频方法_电子科技大学_202610052743.6
    一种基于振动金属薄片的微波炉磁控管变频方法，属于微波技术领域。本发明通过在磁控管谐振腔中设置金属薄片，金属薄片随微波炉运行时自身的机械振动而发生随机的微小振动，进而实现磁控管工作频率的随机改变。这种随机振动持续地微扰磁控管的电磁场分布，导致...
    2026-04-28
  • Ka频段500W高效率、轻量化传导型空间行波管
    Ka频段500W高效率、轻量化传导型空间行波管_南京三乐集团有限公司_202610031989.5
    本申请涉及微波真空电子器件技术领域，公开了Ka频段500W高效率、轻量化传导型空间行波管，该行波管包括底板及安装于其上的电子枪本体、互作用结构、收集极本体及输入、输出输能系统；底板中部设有框架式支架以增强支撑；互作用结构中，夹持杆呈品字形分...
    2026-04-28
  • 一种适用于失重条件下的离子泵及其烘烤再生的方法
    一种适用于失重条件下的离子泵及其烘烤再生的方法_中国航天员科研训练中心_202511876928.0
    本发明公开了一种适用于失重条件下的离子泵及其烘烤再生的方法，属于真空获得设备技术领域。该离子泵创造性地采用了模块化设计，由独立的抽气模块和磁钢模块构成。磁钢模块套设在抽气模块外部，两者通过简单的机械连接实现快速拆装。在抽气模块的连接法兰处特...
    2026-04-28
  • 一种全自动光电倍增管封屏设备及方法
    一种全自动光电倍增管封屏设备及方法_南京三乐集团有限公司_202610027728.6
    本发明涉及光电倍增管领域，公开了一种全自动光电倍增管封屏设备及方法，包括电气控制系统以及分别与所述电气控制系统信号连接的测温系统、温控系统、旋转定位系统、自动化火头平台、机械转移系统及微流量气体控制系统，所述旋转定位系统上呈环形布置有多个工...
    2026-04-28
  • 一种基于脱附-冷凝-吸附循环除气系统及方法
    一种基于脱附-冷凝-吸附循环除气系统及方法_南京三乐集团有限公司_202610027737.5
    本发明涉及真空电子技术领域，公开了一种基于脱附‑冷凝‑吸附循环除气系统及方法，该系统包括真空腔体组件、设置于腔体底板上的隔热支撑台面、收容于内部保温层内的坩埚以及套设在外部的感应加热线圈；在腔体顶盖内侧正对坩埚上方设置有带水冷夹层的冷凝板。...
    2026-04-28
  • 一种大深宽比纳米真空沟道激光协同制造工艺
    一种大深宽比纳米真空沟道激光协同制造工艺_中国科学院宁波材料技术与工程研究所_202511794412.1
    本发明属于微纳电子器件的制造技术领域，涉及一种大深宽比纳米真空沟道激光协同制造工艺，包括如下步骤：在基底上沉积金属增强层和金属种子层；通过光刻胶工艺进行第一层电极图形定义；电镀沉积第一金属电极，并退火；激光釉化处理电极表面；利用ICP刻蚀去...
    2026-04-28
  • 电路保护装置
    电路保护装置_上海良信电器股份有限公司_202610219116.7
    本申请公开一种电路保护装置，涉及低压电器技术领域，包括主回路、灭弧支路和驱动装置，主回路依次串联设置有预断口、可移动导体、触发源和固定导体，灭弧支路并联连接于预断口的两端，驱动装置被配置为响应于触发源的状态变化；其中，当故障电流流经主回路时...
    2026-04-28
  • 一种发动机用集成减振安装结构的保险盒装置
    一种发动机用集成减振安装结构的保险盒装置_湖北省创格精密工业有限公司_202610106078.4
    本发明提出了一种发动机用集成减振安装结构的保险盒装置，属于汽车电气部件技术领域。该装置包括由第一壳体、第二壳体和第三壳体相互插接构成的保险盒壳体组件，以及包含连接座、定位筋和两个斜向直角定位柱的一体化安装支架结构。通过将安装支架与壳体底部直...
    2026-04-28
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