Document
拖动滑块完成拼图
专利交易 商标交易 积分商城 国际服务 IP管家助手 科技果 科技人才 会员权益 需求市场 关于龙图腾 更多
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索
摄影电影;光学设备的制造及其处理,应用技术
  • 本发明公开了一种金属基杂化型光刻胶及其制备方法,通过气相沉积方法在衬底表面循环沉积金属前驱体和内酯型环状分子前驱体,由金属前驱体和内酯型环状分子前驱体反应得到金属基杂化型光刻胶薄膜。本发明金属基杂化型光刻胶包括由金属元素与内酯型环状分子及金...
  • 本发明公开了一种并行处理与接力曝光的LDI激光直接成像曝光方法及系统,涉及光刻设备与激光直接成像曝光技术领域,包括采集版面图形数据并对多曝光头坐标标定,根据标定结果生成曝光坐标基准数据;根据曝光坐标基准数据进行自适应切片,并生成切片边界接力...
  • 本实用新型公开了一种曝光机平行补正装置,包括掩模组件、设于所述掩模组件上的补正组件、以及移动组件;补正组件,包括气缸、设于所述气缸上的补正板、以及设于所述补正板上的若干补正球;所述气缸控制所述补正板进出于所述移动组件和所述掩模组件之间,所述...
  • 本发明公开了一种冷静止能量智能发电机组及其发电方法,包括由多台冷静止能量发动机组成的串联发动机组、智能变速箱、发电机、充电发电机、蓄电池、智能控制系统等,串联发动机组驱动轮连接并驱动智能变速箱的动力输入轮旋转,经智能变速箱进行变速后,驱动发...
  • 本实用新型涉及一种柔光箱及灯光系统,其属于摄影设备技术领域。柔光箱包括围挡、柔光布和支撑架,围挡由不透光的柔性材料构成;围挡展开后构造形成两端开口内部中空的矩形框体结构,围挡的两端开口分别为进光端口和出光端口,围挡的进光端口用于与摄影摄像灯...
  • 本实用新型涉及曝光机技术领域,公开了一种能适应不同厚度材料的曝光机升降工作台,包括底板,所述底板的顶部转动连接有空心柱,所述空心柱的顶部设置有工作台,所述工作台的顶部设置有固定组件,所述底板的顶部有转动组件,所述空心柱的内壁底部固定连接有电...
  • 曝光装置具有除静电部,所述除静电部在支承基板的基板支承部件移动的期间内将所述基板支承部件所带的静电消除,所述基板支承部件具有导电性的主体部和导电性部件,所述导电性部件与由所述基板支承部件支承的所述基板相对置,且将所述基板所带的静电传导至所述...
  • 本发明公开一种修补平版印刷掩膜缺陷、特别是修补EUV掩膜的缺陷的方法、设备和计算机机程序。修补平版印刷掩膜(特别是EUV掩膜)缺陷的方法包含以下的步骤:(a.)以第一修补剂量对缺陷执行第一修补步骤,使该缺陷从初始拓扑转变成第一缺陷拓扑;(b...
  • 本申请涉及投影显示领域,公开一种激光投影设备,包括光源、照明光路、投影镜头和吸收装置;光源用于出射投影光束;照明光路包括空间光调制器件和全反射棱镜;空间光调制器件用于对入射的投影光束进行调制后出射影像光束和无效光束;吸收装置位于无效光束的出...
  • 本公开提供一种全息光刻传输系统,包括平台、搬运设备、内版库以及光刻设备;搬运设备包括设备主体和执行机构,执行机构可转动的设置于设备主体上,相邻两个执行机构沿第三方向间隔设置;光刻设备上和内版库内均具有掩模板和硅片;在掩模传输状态,一个执行机...
  • 本申请涉及燃气轮机控制技术领域,公开了一种燃气轮机冗余模拟量输出模件半值电流控制方法及系统。该方法包括:采集主备模件状态参数构建数据集, 通过加权融合算法计算修正健康度指数, 根据健康度差值进行线性映射得到动态电流分配比例, 经滞环比较和渐...
  • 本发明涉及资源管理技术领域,具体涉及一种合约变更方法、装置、设备及介质。该方法包括:接收业务变更指令,该指令用于请求将第一合约变更为第二合约;获取第一合约的第一属性信息,第一属性信息包括第一合约的第一产品信息和第一合约的第一利率信息;根据第...
  • 本发明涉及食用油检测工艺技术领域,尤其是一种食用油检测工艺,包括如下步骤:S1:通过调节件调整检测探头的水平位置和纵向角度,这样可以使得检测探头可以对不同形状的容器中食用油进行检测;S2:确定检测探头的位置后,通过控制第一气缸使得检测探头插...
  • 本实用新型公开了一种具有侧向辅助机构的曝光机,包括电机、滚珠丝杆、滚珠花键导向轴、滚子轴承、下基板、第一移动底板、第二移动底板、球碗组件、载物台和侧向辅助机构,侧向辅助机构包括限位轴安装支架、限位座、辅助导向轴和弹性塞柱,弹性塞柱将辅助导向...
  • 根据本发明的实施方式所公开的是一种相机致动器,该相机致动器包括:壳体;移动器,该移动器设置在壳体中;倾斜导引单元,该倾斜导引单元设置在壳体与移动器之间;驱动单元,该驱动单元设置在壳体中以驱动移动器;弹性构件,倾斜导引单元和移动器通过该弹性构...
  • 本发明公开了一种基于1 : 1正像投影成像的光刻系统、光刻方法及正像投影系统,光刻系统包括扫描工作台、平面驱动机构、用于放置掩模的掩模工作台、用于放置基板的基板工作台、光学系统,且掩模工作台与基板工作台相对位置保持不变;平面驱动机构被配置为...
  • 本实用新型公开一种图案片更换装置及投影设备,涉及影像投影技术领域,以解决现有投影设备中图案片更换不便的问题。所述图案片更换装置应用于投影设备,包括固定板和图案片组,所述图案片组可拆卸地连接在所述固定板上,所述图案片组包括用于容置待观测图案的...
  • 本发明涉及一种部分相干成像计算模型下的光源优化方法和系统,属于计算光刻技术领域,解决了现有技术中缺少考虑光源相干性的EUV光刻SO算法的问题。具体步骤包括:结合掩膜三维效应,分别计算有效光源中每个光源点通过相干成像产生的电场;基于每个光源点...
  • 本发明公开了一种舵机双模冗余反馈装置,包括框架、舵轴、扇形齿片、A电位器、A电位器主齿轮、A电位器副齿轮、B电位器、B电位器主齿轮、B电位器副齿轮;A电位器主齿轮和A电位器副齿轮安装在A电位器的转轴上;B电位器主齿轮和B电位器副齿轮安装在B...
  • 一种图形修正方法,包括:提供初始版图,初始版图包括若干设计图形;在若干设计图形中获取若干特殊图形;将初始版图划分为若干第一块区,相邻第一块区之间具有边界线;在若干特殊图形中获取与边界线有交叠的若干跨区图形;将初始版图拆分为分区版图和跨区版图...
技术分类