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摄影电影;光学设备的制造及其处理,应用技术
  • 用于光刻设备中的图案化装置的运动控制的系统和方法
    用于光刻设备中的图案化装置的运动控制的系统和方法_ASML荷兰有限公司_202480059855.3
    掩模版通常通过夹具被夹持到光刻设备中的卡盘。由夹具提供的力可以限制所述掩模版可以加速多快(例如如果掩模版加速太快，则掩模版的动量可能会破坏夹持力，并且掩模版可能在卡盘上滑动)。描述了一种新的运动控制系统，新的运动控制系统在加速期间对掩模版施...
    2026-04-22
  • 具有背侧导电层的空白掩模及利用其制造的光掩模
    具有背侧导电层的空白掩模及利用其制造的光掩模_思而施技术株式会社_202011322130.9
    一种具有背侧导电层的空白掩模及利用其制造的光掩模。空白掩模包含附接到衬底的背侧的导电层，且导电层包含依序堆叠在衬底的背侧上的第一层、第二层以及第三层。第一层和第三层由含有铬(Cr)和氧(O)的材料制成，且第二层由不含有氧(O)但含有铬(Cr...
    2026-04-22
  • 一种跨阻放大器输出信号的调节电路
    一种跨阻放大器输出信号的调节电路_工研拓芯(苏州)集成电路有限公司_202210994901.1
    本发明提供一种跨阻放大器输出信号的调节电路，包括跨阻放大器、无光源单元、信号处理单元和控制单元；跨阻放大器对电流信号进行处理得到电压信号；无光源单元用于产生光电转换在光源无输入时的静态电压；信号处理单元检测静态电压和电压信号的平均电压，并根...
    2026-04-22
  • 一种金属基杂化型光刻胶及其制备方法
    一种金属基杂化型光刻胶及其制备方法_衡流半导体科技(常州)有限公司_202610010405.6
    本发明公开了一种金属基杂化型光刻胶及其制备方法，通过气相沉积方法在衬底表面循环沉积金属前驱体和内酯型环状分子前驱体，由金属前驱体和内酯型环状分子前驱体反应得到金属基杂化型光刻胶薄膜。本发明金属基杂化型光刻胶包括由金属元素与内酯型环状分子及金...
    2026-04-22
  • 一种并行处理与接力曝光的LDI激光直接成像曝光方法及系统
    一种并行处理与接力曝光的LDI激光直接成像曝光方法及系统_东莞市和川机械设备科技有限公司_202610012765.X
    本发明公开了一种并行处理与接力曝光的LDI激光直接成像曝光方法及系统，涉及光刻设备与激光直接成像曝光技术领域，包括采集版面图形数据并对多曝光头坐标标定，根据标定结果生成曝光坐标基准数据；根据曝光坐标基准数据进行自适应切片，并生成切片边界接力...
    2026-04-22
  • 一种曝光机平行补正装置
    一种曝光机平行补正装置_江西兆驰半导体有限公司_202520599905.9
    本实用新型公开了一种曝光机平行补正装置，包括掩模组件、设于所述掩模组件上的补正组件、以及移动组件；补正组件，包括气缸、设于所述气缸上的补正板、以及设于所述补正板上的若干补正球；所述气缸控制所述补正板进出于所述移动组件和所述掩模组件之间，所述...
    2026-04-22
  • 一种冷静止能量智能发电机组及其发电方法
    一种冷静止能量智能发电机组及其发电方法_中阳先源工程技术研究院(北京)有限公司_202311849967.2
    本发明公开了一种冷静止能量智能发电机组及其发电方法，包括由多台冷静止能量发动机组成的串联发动机组、智能变速箱、发电机、充电发电机、蓄电池、智能控制系统等，串联发动机组驱动轮连接并驱动智能变速箱的动力输入轮旋转，经智能变速箱进行变速后，驱动发...
    2026-04-22
  • 柔光箱及灯光系统
    柔光箱及灯光系统_深圳市神牛摄影器材有限公司_202520854067.5
    本实用新型涉及一种柔光箱及灯光系统，其属于摄影设备技术领域。柔光箱包括围挡、柔光布和支撑架，围挡由不透光的柔性材料构成；围挡展开后构造形成两端开口内部中空的矩形框体结构，围挡的两端开口分别为进光端口和出光端口，围挡的进光端口用于与摄影摄像灯...
    2026-04-22
  • 一种能适应不同厚度材料的曝光机升降工作台
    一种能适应不同厚度材料的曝光机升降工作台_重庆博硕自动化设备有限公司_202521142156.3
    本实用新型涉及曝光机技术领域，公开了一种能适应不同厚度材料的曝光机升降工作台，包括底板，所述底板的顶部转动连接有空心柱，所述空心柱的顶部设置有工作台，所述工作台的顶部设置有固定组件，所述底板的顶部有转动组件，所述空心柱的内壁底部固定连接有电...
    2026-04-22
  • 曝光装置以及基板支承部件
    曝光装置以及基板支承部件_株式会社尼康_202380102594.4
    曝光装置具有除静电部，所述除静电部在支承基板的基板支承部件移动的期间内将所述基板支承部件所带的静电消除，所述基板支承部件具有导电性的主体部和导电性部件，所述导电性部件与由所述基板支承部件支承的所述基板相对置，且将所述基板所带的静电传导至所述...
    2026-04-22
  • 修补掩膜缺陷的方法、设备、与计算机程序
    修补掩膜缺陷的方法、设备、与计算机程序_卡尔蔡司SMT有限责任公司_202512043192.5
    本发明公开一种修补平版印刷掩膜缺陷、特别是修补EUV掩膜的缺陷的方法、设备和计算机机程序。修补平版印刷掩膜(特别是EUV掩膜)缺陷的方法包含以下的步骤：(a.)以第一修补剂量对缺陷执行第一修补步骤，使该缺陷从初始拓扑转变成第一缺陷拓扑；(b...
    2026-04-22
  • 一种激光投影设备
    一种激光投影设备_青岛海信激光显示股份有限公司_202520794878.0
    本申请涉及投影显示领域，公开一种激光投影设备，包括光源、照明光路、投影镜头和吸收装置；光源用于出射投影光束；照明光路包括空间光调制器件和全反射棱镜；空间光调制器件用于对入射的投影光束进行调制后出射影像光束和无效光束；吸收装置位于无效光束的出...
    2026-04-22
  • 全息光刻传输系统
    全息光刻传输系统_光科芯图(北京)科技有限公司_202610183462.4
    本公开提供一种全息光刻传输系统，包括平台、搬运设备、内版库以及光刻设备；搬运设备包括设备主体和执行机构，执行机构可转动的设置于设备主体上，相邻两个执行机构沿第三方向间隔设置；光刻设备上和内版库内均具有掩模板和硅片；在掩模传输状态，一个执行机...
    2026-04-22
  • 燃气轮机冗余模拟量输出模件半值电流控制方法及系统
    燃气轮机冗余模拟量输出模件半值电流控制方法及系统_华能国际电力股份有限公司_202610096935.7
    本申请涉及燃气轮机控制技术领域，公开了一种燃气轮机冗余模拟量输出模件半值电流控制方法及系统。该方法包括：采集主备模件状态参数构建数据集, 通过加权融合算法计算修正健康度指数, 根据健康度差值进行线性映射得到动态电流分配比例, 经滞环比较和渐...
    2026-04-22
  • 一种合约变更方法、装置、设备及介质
    一种合约变更方法、装置、设备及介质_中国建设银行股份有限公司_202210560169.7
    本发明涉及资源管理技术领域，具体涉及一种合约变更方法、装置、设备及介质。该方法包括：接收业务变更指令，该指令用于请求将第一合约变更为第二合约；获取第一合约的第一属性信息，第一属性信息包括第一合约的第一产品信息和第一合约的第一利率信息；根据第...
    2026-04-22
  • 相机致动器和包括该相机致动器的相机模块
    相机致动器和包括该相机致动器的相机模块_LG伊诺特有限公司_202180062570.1
    根据本发明的实施方式所公开的是一种相机致动器，该相机致动器包括：壳体；移动器，该移动器设置在壳体中；倾斜导引单元，该倾斜导引单元设置在壳体与移动器之间；驱动单元，该驱动单元设置在壳体中以驱动移动器；弹性构件，倾斜导引单元和移动器通过该弹性构...
    2026-04-22
  • 一种基于1 : 1正像投影成像的光刻系统、光刻方法及正像投影系统
    一种基于1 : 1正像投影成像的光刻系统、光刻方法及正像投影系统_张家港中贺自动化科技有限公司_202411911934.0
    本发明公开了一种基于1 : 1正像投影成像的光刻系统、光刻方法及正像投影系统，光刻系统包括扫描工作台、平面驱动机构、用于放置掩模的掩模工作台、用于放置基板的基板工作台、光学系统，且掩模工作台与基板工作台相对位置保持不变；平面驱动机构被配置为...
    2026-04-22
  • 一种图案片更换装置及投影设备
    一种图案片更换装置及投影设备_广州市星熠光电设备有限公司_202520221791.4
    本实用新型公开一种图案片更换装置及投影设备，涉及影像投影技术领域，以解决现有投影设备中图案片更换不便的问题。所述图案片更换装置应用于投影设备，包括固定板和图案片组，所述图案片组可拆卸地连接在所述固定板上，所述图案片组包括用于容置待观测图案的...
    2026-04-22
  • 一种部分相干成像计算模型下的光源优化方法和系统
    一种部分相干成像计算模型下的光源优化方法和系统_中国科学院微电子研究所_202411441931.5
    本发明涉及一种部分相干成像计算模型下的光源优化方法和系统，属于计算光刻技术领域，解决了现有技术中缺少考虑光源相干性的EUV光刻SO算法的问题。具体步骤包括：结合掩膜三维效应，分别计算有效光源中每个光源点通过相干成像产生的电场；基于每个光源点...
    2026-04-22
  • 一种舵机双模冗余反馈装置
    一种舵机双模冗余反馈装置_上海航天控制技术研究所_202511944687.9
    本发明公开了一种舵机双模冗余反馈装置，包括框架、舵轴、扇形齿片、A电位器、A电位器主齿轮、A电位器副齿轮、B电位器、B电位器主齿轮、B电位器副齿轮；A电位器主齿轮和A电位器副齿轮安装在A电位器的转轴上；B电位器主齿轮和B电位器副齿轮安装在B...
    2026-04-22
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