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一种基于振动金属薄片的微波炉磁控管变频方法
一种基于振动金属薄片的微波炉磁控管变频方法,属于微波技术领域。本发明通过在磁控管谐振腔中设置金属薄片,金属薄片随微波炉运行时自身的机械振动而发生随机的微小振动,进而实现磁控管工作频率的随机改变。这种随机振动持续地微扰磁控管的电磁场分布,导致...
一种基于微振动金属薄片的动态接触式磁控管变频方法
一种基于微振动金属薄片的动态接触式磁控管变频方法,属于微波技术领域。本发明通过在磁控管谐振腔中设置可与金属壁实现“接触‑分离”的金属薄片,金属薄片随微波炉运行时自身的机械振动而发生振动,使得金属薄片的一端与磁控管谐振腔金属壁发生短暂接触而后...
一种内嵌式螺线管激光离子源装置
本发明涉及激光离子源技术领域,具体公开一种内嵌式螺线管激光离子源装置,包括激光器、外靶室组件、内靶室组件、抽真空组件、靶、移动平台和束流拦截组件,内靶室组件包含有第一腔体、离子内引出管道、螺线管和聚焦透镜;螺线管、靶和聚焦透镜均位于第一腔体...
电子束检查装置
电子束检查装置具备使一次电子束在试样上成像的物镜。在试样施加有负的电位。物镜具有:电磁透镜,其具有维纳尔电极和磁轭,该维纳尔电极与试样相对配置且被施加负的电位,该磁轭从维纳尔电极观察时配置于与试样相反的一侧,与维纳尔电极磁连接且电绝缘,该电...
半导体工艺设备及其介质窗温度控制方法和系统
本发明提供了半导体工艺设备及其介质窗温度控制方法和系统;其中,当介质窗的检测温度达到刻蚀工艺对应的目标温度时,获取此时加热元件的实际功率,并计算实际功率和基准功率之间的功率差值;若功率差值大于预设阈值,则根据目标温度和基准功率确定温度补偿值...
半导体工艺腔室
本申请实施例提供了一种半导体工艺腔室,其中,所述半导体工艺腔室包括:封盖组件、腔室本体、冷却组件和驱动器;所述封盖组件包括盖体和设于所述盖体的第一加热模块,所述盖体用于封盖所述腔室本体,所述第一加热模块用于对所述盖体进行加热,所述冷却组件包...
基板处理装置、电磁波屏蔽调整方法、基板处理方法、半导体装置的制造方法、以及程序产品
提供能够防止电磁泄漏的技术。基板处理装置具有:处理基板的容器;设于所述容器的外周的等离子体生成部,其具有被施加高频电力的电极、与所述电极连接的馈电线路、和经由所述馈电线路向所述电极供给所述高频电力的供给部;设于所述电极的外周并屏蔽从所述电极...
衬底处理系统中具有倾斜孔的离子阱
公开了用于衬底处理系统中的离子阱。离子阱可以包括至少一个孔。孔可以包括相对于离子阱的顶表面或底表面倾斜的内表面。孔可以防止等离子体离子穿过离子阱和/或允许等离子体自由基穿过离子阱。
利用压电效应实现的无电源小型化电离装置
本发明实施例公开了一种利用压电效应实现的无电源小型化电离装置,该装置包括电能腔、电离腔;所述电能腔,用于将外界施压的机械能转化为电能,并通过电压传输线接出至电离腔;所述电离腔,用于通过电能腔产生能量转化为脉冲电弧,并利用其使待测样品在电离介...
减少微通道板质量歧视的方法
本发明涉及质谱技术,具体提供了减少微通道板质量歧视的方法,包括以下步骤:A1.离子被第三电极的电场弹射,经过无场区后穿过第一电极和第二电极,被微通道板接收,获得质量段的离子飞行时间信息;A2.获得选择的质荷比离子的飞行时间t和离子强度St;...
一种用于同位素质谱分析的超低本底自动进样器
本发明涉及同位素质谱分析技术设备技术领域,特指一种用于同位素质谱分析的超低本底自动进样器,包括进样器主体、纯化机构和驱动机构;进样器主体内设置进样空间,进样空间与进样盘相连通;进样器主体内还设置进样推杆;纯化结构包括密闭腔体,密闭腔体分别与...
用于在选择性操作的端口之间引导离子的多通道离子路由器
一种离子路由器,该离子路由器包括:一对相对表面;至少三个端口,每个端口限定该一对相对表面之间的开口;和多个离子通道,该多个离子通道由耦合到该一对表面的电极阵列限定。至少一个端口被配置作为进入端口,离子通过该进入端口被接收到该离子路由器中,并...
离子路由装置
提供了一种离子路由装置,该离子路由装置包括至少三个分支,该至少三个分支在交汇部处交汇。每个分支限定通过离子路由装置的离子路径,通过每个分支的离子路径限定分支的纵向轴线。每个分支包括纵向延伸的电极,并且每个分支的纵向延伸的电极与相邻分支的纵向...
离子偏转透镜组及其离子传输方法和应用
本发明提供了离子偏转透镜组及其离子传输方法和应用,属于质谱仪技术领域。本发明的离子偏转透镜组包括:离子偏转单元,安装于质谱仪真空系统的真空阀门的外部,紧邻质谱仪的离子提取单元下游,使离子经离子提取单元完成提取加速后即刻偏转;聚焦透镜组,安装...
质谱仪及其控制方法、存储介质和电子设备
本发明公开了一种质谱仪及其控制方法、存储介质和电子设备,涉及质谱仪技术领域。质谱仪包括依次设置的离子源、传输结构、第一离子透镜、第一质量分析器和检测器,方法包括:确定目标离子的质量数范围;基于质量数范围,得到第一目标电压差和设置第一质量分析...
一种灯管及补光灯
本申请涉及监控领域,公开一种灯管及补光灯。该灯管包括发光部分和管脚部分;发光部分包括第一直管段、螺旋管段和第二直管段;管脚部分包括第一管脚和第二管脚;其中:螺旋管段的第一端与第一直管段的第一端连接,螺旋管段的第二端与第二直管段的第一端连接;...
基板单体、双极性极板及电池
本申请涉及一种基板单体、双极性极板及电池,基板单体包括:底板,底板由玻璃纤维环氧树脂制成;及两层集电层,分别设置于底板相对的正反两面。上述底板由玻璃纤维环氧树脂制成,具有高强度和高韧性,为集电层等膜层提供有效的结构支撑。另外,玻璃纤维环氧树...
一种MoO2/海藻酸锌复合涂层改性锌负极及其制备方法
本申请提供了一种MoO2/海藻酸锌复合涂层改性锌负极及其制备方法,包括锌箔和涂覆在锌箔上的复合涂层,复合涂层包括海藻酸锌凝胶层和分散在海藻酸锌凝胶层中的MoO2微粒。本发明中的二氧化钼(MoO2)作为功能性填料,提供了优异的导电性和锌离子传...
一种电池电极的制造方法
本发明涉及电池制备技术领域,更具体的说是一种电池电极的制造方法,该方法包括以下步骤:步骤一、对原料进行选择,并对选出的原料进行处理;步骤二、对原料进行按比例混合配比;步骤三、对比配完成的原料进行加工,完成糊料的制备;步骤四、将糊料添加至涂抹...
全固态电池用电极的制造方法
本发明提供一种能够良好地制造全固态电池的电极的全固态电池用电极的制造方法。本发明的一方式所涉及的全固态电池用电极的制造方法包括:压制工序;转印工序;及剥离工序。压制工序在集电体的表面及背面分别形成活性物质层并进行压制。转印工序将配置于片材上...
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