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  • 本发明公开了大口径光学元件抛光在线检测装置及全口径面形反演方法,属于精密光学制造与检测领域。针对传统干涉测量法环抛阶段检测平行表面光学元件面形误差时,易受上表面误差、材料折射率非均匀性及自干涉条纹干扰的问题,提出基于波长移相干涉仪的两步法在...
  • 本发明提供一种收尘极板加工检测一体化装置,包括:基座,其顶部设有用于定位并固定待加工的收尘极板的固定槽;设于基座上的移动机构,输出端被配置为能够在所述固定槽的上方,相对于固定槽沿其X轴方向和Y轴方向移动;固定架,安装于移动机构的输出端;加工...
  • 本发明公开了一种基于超声波探头的游星轮厚度自动化检测系统,涉及半导体研磨工艺检测技术领域,本发明通过设置带有柔性密封结构的探头,利用游星轮表面残留液体形成微型液腔实现准干式耦合,并控制探头在多个预设位置进行测量,结合旋转工位获取全面厚度数据...
  • 本发明提供一种固液相变砂轮及螺纹磨削系统,涉及磨削系统领域,针对现有螺纹磨削中V型狭窄加工区冷却液难以渗入导致磨削热急剧堆积引发工件热损伤的问题,本发明通过为砂轮建立内部主动吸热机制进行解决,将基体径向划分为导热区和磨削工作区,并在导热区内...
  • 本发明公开了一种双层磨轮结构,包括电机,电机的输出轴从电机的一端输出,电机的输出轴中部设有通孔,通孔沿着输出轴的轴向方向贯通;外磨轮,与电机的输出轴连接,外磨轮的外端设有容置槽;内磨轮,位于容置槽内,并与电机的输出轴连接,内磨轮外径小于外磨...
  • 本发明公开了一种半导体基板CMP抛光用抛光液补偿装置,涉及抛光液补偿技术领域。该装置包括机柜、防护罩、抛光垫、喷头、混合储液罐、补液组件及抛光液智能调控系统,由浓度检测与分析、补液决策与控制、搅拌协同调节、状态监测与预警模块组成。浓度检测与...
  • 本发明提供了一种电磁开关、清洁装置及清洁方法,涉及半导体研磨清洁技术领域,应用于清洁装置,所述清洁装置用于清洁晶圆研磨设备中的待清洁部件;所述电磁开关包括电源模块、开关模块和磁力发生模块,所述电源模块为其所在的闭合回路供电;所述开关模块的输...
  • 本申请涉及一种基于双化学机械抛光设备的晶圆膜厚均匀性修正方法,属于晶圆加工技术领域。本申请方法包括如下步骤:1)提供第一抛光机和第二抛光机,所述第一抛光机呈现平边区域系统性偏厚的特性,所述第二抛光机呈现平边区域系统性偏薄的特性;2)第一抛光...
  • 一种电动研磨装置及阀体密封面的研磨方法,属于安全阀装配/维修领域,本发明为了解决现有阀体密封面研磨装置多为仅针对水平密封面实施研磨的问题。包括研磨盘、第一传动轴、球链式万向节、第二传动轴、支撑架、固定板和电动磁座钻,支撑座与支撑架相连,第二...
  • 本申请实施例公开了一种研磨时间的调整方法、研磨方法、装置、研磨机台及设备,该方法包括:获取当前批次中单片晶圆的预估研磨时间;获取上一批次中单片晶圆的研磨时间设定值;计算当前批次中单片晶圆的预估研磨时间与上一批次中单片晶圆的研磨时间设定值的第...
  • 本发明公开了一种改善阴极辊辊面网状纹的装置及其方法,涉及金属表面处理技术领域,包括设置在阴极辊主体表面的滚轮;同轴设置在滚轮两侧随其同步转动的齿轮;活动设置在齿轮上方的卡合插块;固定在第二油缸底端的异形推块;等间距设置在保护外壳中受异形推块...
  • 本发明公开了一种金相试样磨抛方法,涉及材料金相分析技术领域。该金相试样磨抛方法用于对复合材料金相试样进行磨抛,该金相试样磨抛方法包括:步骤S100,使用研磨盘对复合材料金相试样进行金相研磨;步骤S200,使用一类抛光盘对复合材料金相试样进行...
  • 本发明公开基于风刀、水刀协作的屏显玻璃侧边同步研磨工艺,其包括步骤:S1、屏显玻璃定位;S2、侧边研磨。本发明一方面在屏显玻璃的侧边研磨中,所采用风刀以磨削轮的圆心为基准所形成弧形区域将研磨部无死角的全面阻隔,同时由风刀协助水刀不仅能够将水...
  • 本发明涉及金属工件加工设备技术领域,尤其涉及一种金属工件表面处理设备,包括,表面打磨设备,其包括加工台、设置于加工台一侧的侧立板以及安装于侧立板的控制面板,所述加工台的顶部设有台面板;处理桶部位,其包括用于容纳工作介质的加工桶,所述加工桶可...
  • 本发明涉及一种高品质饮用水不锈钢管抛光设备,包括:工作台,工作台的顶部靠近中心位置处设有活动架,工作台的顶部靠近左右两侧处均设有防护壳,工作台的顶部开设有第一滑槽,第一滑槽设有调节机构,防护壳的内侧设有夹持机构,活动架的内侧后侧设有抛光块。...
  • 本发明公开了一种阵列流变抛光各向异性材料的装置及方法,依据工件属性实现特定晶向的高效单向抛光,彻底解决传统工艺方向杂乱、效率低下和去除不可控的难题。本发明装置包括安装框架,安装框架中部设置抛光池,抛光池内设置工件夹具模块,用以固定晶圆工件并...
  • 本发明公开了一种可调节压力的抛光装置,属于机械加工设备技术领域。该可调节压力的抛光装置,包括机架、机壳、升降机构和动力装置,还包括:第一连杆顶端与机壳铰接;第二连杆顶端与机壳铰接;第一抛光头枢轴连接于第一连杆底端;第二抛光头枢轴连接于第二连...
  • 本发明涉及直线导轨的打磨技术领域,具体涉及一种防偏移高精度直线导轨磨床,以伺服电机与双头反向丝杠驱动丝杠螺母臂实现两侧机构同步进退,使测偏机构的位移输出经放大机构汇入错位检查机构完成差量判别,并由回避机构与传导机构完成解锁回退与缓冲复位,既...
  • 本发明公开了一种钢板切割焊缝坡口自动成型的焊接辅助装置,包括导轨、悬臂和转轴,所述导轨上套设有滑套,所述滑套的上方上下滑动连接有连接套,所述连接套的外壁通过连接臂固定连接有竖板,所述悬臂的一端和竖板的底部上下转动连接。本发明中,设置竖板、悬...
  • 本发明公开了一种龙门桁架式天地导轨多机器人飞机除漆作业平台系统,属于航空器维修与表面处理自动化技术领域,包括:设置在作业平台底板周边的若干龙门桁架立柱,以及安装在所述龙门桁架立柱上的龙门桁架横梁,所述龙门桁架立柱与龙门桁架横梁构成覆盖作业空...
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