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氮化物半导体晶体管
本公开提供一种能提高失真特性的氮化物半导体晶体管。氮化物半导体晶体管具有:阻挡层,具有具备氮极性的第一上表面;沟道层,处于所述第一上表面之上,具有具备氮极性的第二上表面,具有第一方向的第一极化;以及铁电体层,处于所述第二上表面之上,具有与所...
半导体器件及其制备方法与外延片
本申请涉及半导体领域,公开一种半导体器件及其制备方法与外延片。该半导体器件包括衬底、半导体膜层、第一电极和第二电极。衬底包括第一表面,衬底为单晶‑Ga2O3衬底,第一表面为单晶‑Ga2O3的(100)晶面或(001)晶面。半导体膜层设于衬底...
具有复合终端结构且抗二次雪崩的二极管雪崩整形器件
本发明公开了一种具有复合终端结构且抗二次雪崩的二极管雪崩整形器件。该二极管雪崩整形器件包括负电极、SiC衬底、P型控制区、SiC外延层、波纹形P+区、JTE区、钝化层和正电极;波纹形P+区的第一凸起嵌设在SiC外延层之中,第一凸起在SiC衬...
一种氢离子注入的高压氮化镓肖特基二极管及其制备方法
本发明提供一种氢离子注入的高压氮化镓肖特基二极管及其制备方法,包括:在氮化镓基外延片的P‑GaN帽层上光刻氢注入区域,进行氢离子注入,对器件进行低温退火,以使氢离子与Mg离子结合,形成高阻钝化区;在P‑GaN帽层远离氢注入区域的一侧边缘区域...
一种基于场板结构的安培级氧化镓肖特基势垒二极管及其制备方法
本发明公开了一种基于场板结构的安培级氧化镓肖特基势垒二极管及其制备方法;本发明的制备方法包括:准备一氧化镓衬底;在氧化镓衬底上生长SiO2,并在快速热退火设备中氧气氛围退火;对氧化镓衬底进行背部刻蚀,同时使用氢氟酸洗掉氧化镓衬底表面的SiO...
深沟槽电容的加工方法及电容器
本发明公开了一种深沟槽电容的加工方法及形成的电容器,其是在玻璃的第一衬底中加工第一通槽,将其与第二衬底键合后,在第一衬底一侧沉积覆盖第一通槽表面的MIM多层形成第一电容,并制作连接线路。本发明可加工更高垂直度与深宽比的通槽结构,以此实现的深...
具有高密度Z轴互连的3D计算电路
本发明的一些实施例提供了一种具有高密度Z轴互连的3D计算电路,该电路包括第一集成电路IC裸片,包括第一处理器核;以及第二IC裸片,被垂直安装在第一IC裸片上,IC裸片包括用于第一处理器核的第一高速缓存,其中,第一高速缓存在重叠区域处与第一处...
半导体结构及其制备方法和半导体器件
本公开的实施例提供了一种半导体结构及其制备方法和半导体器件,涉及半导体的技术领域。半导体结构包括层叠设置的多个晶圆组,相邻的两个晶圆组键合。晶圆组包括晶圆和第一互联部。晶圆的数量为多个,多个晶圆层叠设置,相邻的两个晶圆键合。晶圆包括绝缘介质...
存储器装置和该存储器装置的制造方法
本申请涉及存储器装置和该存储器装置的制造方法。一种制造存储器装置的方法包括:形成包括交替层叠的第一层间绝缘层和第一牺牲层的第一层叠物,第一牺牲层具有第一蚀刻速率;在第一层叠物上方形成第二层叠物,该第二层叠物包括交替层叠的第二层间绝缘层和第二...
存储器装置
本发明提供一种存储器装置,其包括:衬底;设置在衬底上的由堆叠体构成的多个存储器阵列;和设置在多个存储器阵列彼此之间的阶梯结构,在堆叠体的边缘处设置有贯穿多个电介质层和导电层的不作为存储单元发挥作用的第一伪柱(11、21),在阶梯结构中设置有...
半导体器件和包括该半导体器件的电子系统
本公开的实施例提供了半导体器件和包括该半导体器件的电子系统。该半导体器件包括:基板;堆叠结构,堆叠结构包括垂直且交替地堆叠在基板上的电介质图案和导电图案;源极导电图案,源极导电图案位于堆叠结构上;上导线,上导线位于堆叠结构与源极导电图案之间...
半导体器件及其制造方法、电子设备
本申请提供了一种半导体器件及其制造方法、电子设备。该半导体器件的制造方法包括:在衬底上形成保护层;在保护层上形成叠置结构;基于第一沟槽,对第一沟槽两侧的多层第一绝缘层进行刻蚀并形成多层第一导电层;基于第二过孔,对第二过孔外周的多层第一绝缘层...
用于图案化的方法以及存储器结构
本公开描述了一种用于存储单元中的条带区域的图案化工艺,用于移除多晶硅线之间的材料。图案化工艺包括:在插入第一多晶硅栅极结构和第二多晶硅栅极结构之间的多晶硅层的顶部上形成的皮层中沉积第一硬掩模层;在第一硬掩模层上沉积第二硬掩模层。图案化工艺还...
存储器及存储器的制备方法
本公开提供了一种存储器及存储器的制备方法,涉及半导体技术领域。该存储器包括:衬底,包括相邻分布的第一中心区和第二中心区,以及位于第一中心区和第二中心区之间的边缘区;第一存储阵列,位于第一中心区;第二存储阵列,位于第二中心区;第一选择晶体管,...
一种三维动态随机存取存储器及其制造方法
本发明公开了一种三维动态随机存取存储器及其制造方法,涉及存储器技术领域,用于提高动态随机存取存储器的存储密度。所述三维动态随机存取存储器包括:呈立体阵列分布的多个存储单元、以及用于将不同存储单元隔离开的介质结构。每个存储单元包括:晶体管和电...
半导体存储器装置
提供了半导体存储器装置。所述半导体存储器装置包括;存储器单元区域,包括存储器单元;以及核心/外围区域,包括电容器。电容器包括下电极和上电极,第一电位电平通过第一金属图案被施加至下电极,并且下电极形成在核心/外围区域上,比第一电位电平低的第二...
具有厚度不均匀的气隙保护结构的半导体元件及其制备方法
本公开提供一种半导体元件及其制备方法。该半导体元件包括一基板、一位元线、一导电层、一着陆垫、以及一气隙保护结构。该基板包括多个衬垫,设置于该基板中一沟槽的侧表面上。该位元线设置于该基板上。该隔离间隔物设置于该位元线的一侧壁上。该隔离间隔物包...
半导体结构及其制造方法
本发明提供一种半导体结构及其制造方法。上述半导体结构包括衬底、埋入式字线结构与介电阻挡层。埋入式字线结构位于衬底中。埋入式字线结构包括埋入式字线。埋入式字线位于衬底中。介电阻挡层位于埋入式字线结构上方的衬底中。位于衬底中的介电阻挡层的宽度大...
一种半导体结构及存储器件
本公开实施例涉及一种半导体结构,包括:基底,基底包括有源区和外围区;位线结构,位于有源区且平行于基底表面层叠设置,位线结构的至少一端具有台阶结构;垂直字线与位线结构电连接;第一导通结构位于外围区,第一导通结构的一端与基底连接,第一导通结构的...
半导体器件及其制备方法、存储器系统
本公开实施方式提供了一种半导体器件及制备方法、存储器系统。半导体器件包括:半导体主体、栅极结构和介质填充部。半导体主体沿第一方向延伸,栅极结构位于半导体主体沿第一方向延伸的侧壁,介质填充部至少位于栅极结构背离半导体主体的一侧,其中栅极结构包...
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