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  • 本公开提供一种双栅极晶体管和包括该双栅极晶体管的显示装置,该双栅极晶体管包括:在第一栅极绝缘层上以倒锥形形状配置的第一栅电极、被设置成覆盖第一栅电极的缓冲层、设置在缓冲层上的有源层、被设置成覆盖有源层的第二栅极绝缘层、以及在第二栅极绝缘层上...
  • 本发明公开的碳化硅MOSFET沟道形成方法,首先在N型漂移区外延层上表面从下至上依次形成栅介质层、硅层及硬掩膜层,然后刻蚀硬掩膜层及硅层停止在栅极氧化硅层形成栅极结构,然后进行P离子注入在栅极结构左右两侧的N型漂移区外延层上端部形成左右两个...
  • 本申请实施例公开一种碳化硅功率器件及其制备方法、半导体器件,属于半导体技术领域,碳化硅功率器件包括基底、源极结构、栅极结构和电场屏蔽层;源极结构设置于基底;栅极结构设置于基底内,源极结构环绕栅极结构的至少部分侧面;电场屏蔽层覆盖栅极结构的至...
  • 本申请实施例提供一种碳化硅功率器件元胞结构及其制备方法、半导体器件。该碳化硅功率器件元胞结构包括基底、栅极结构以及源极结构。栅极结构设置于基底内,为沟槽型向下延伸。其中,栅极结构包括第一栅极结构和至少一个第二栅极结构,至少一个第二栅极结构设...
  • 一种具有双栅沟槽的碳化硅功率器件单元胞,其中碳化硅MOSFET的第一栅沟道区沿第一类栅沟槽的至少一个侧壁形成并与第一源区连接,碳化硅超级势垒整流器(作为MOS沟道二极管)的第二栅沟道区沿第二类栅沟槽的侧壁形成并与第二源区连接,以使寄生体二极...
  • 本发明涉及芯片技术领域,具体为一种具有复合沟槽的高压GPP芯片及其制备方法,包括:由下至上依次设置的N+衬底层、N层、P+层,所述N+衬底层与N层构成N‑N+衬底,所述P+层与N层构成P+‑N结;芯片边缘区域的沟槽,沟槽内壁覆盖复合钝化层,...
  • 公开了半导体器件和制造该半导体器件的方法。该半导体器件可以包括半导体层和在半导体层上的电极层,半导体层包括二维半导体材料。电极层可以包括第一杂质堆积区,杂质聚集在第一杂质堆积区中。
  • 本发明涉及半导体制造技术领域,具体涉及一种改善半导体器件金属电极爬坡覆盖性的图形化工艺,工艺为:在第一金属电极上的P I层上涂布LOR光阻并软烘;在LOR光阻上涂布第一光阻层,并进行光刻开图,LOR光阻未曝光区域溶解形成undercut形貌...
  • 本发明提供一种双向阻断的半导体器件及其制备方法,半导体器件包括:第一MOS管芯片,具有第一漏区;第二MOS管芯片,具有第二漏区;其中,第一漏区与第二漏区面对面直接键合,形成导电键合界面,以使第一MOS管芯片与第二MOS管芯片沿垂直方向堆叠,...
  • 一种集成结构和制造集成结构的方法,该集成结构包括:衬底(100, 101);导电层,该导电层具有第一腔,该第一腔(102C)填充有第一绝缘区(103F),该第一绝缘区具有与导电层的顶表面齐平的顶表面,从而形成第一平坦表面(F1);保护衬垫(...
  • 本发明涉及一种集成双钳位MOSFET的SOI‑LIGBT器件,属于半导体器件技术领域。该器件包括阴极P+区、阴极P‑well区、阴极N+区、漂移区、阳极N‑buffer区、阳极P+区、阳极N+区、钳位N+1区、钳位N+2区、正向钳位栅氧化层...
  • 本申请涉及一种用于碳化硅功率器件的元胞结构及其制备方法,结构包括:衬底;衬底顶面设置有的第一导电类型的外延层;阱区,位于外延层远离衬底的一侧,阱区包括源极结构、栅极结构及第二导电类型的保护区;源极结构与栅极结构沿第一方向贯穿阱区,沿第二方向...
  • 本公开涉及具有多个阈值电压的半导体器件及其形成方法。在形成半导体器件的栅极结构期间,在半导体器件的不同区域中的栅极电介质材料上形成包括不同偶极子形成元素和/或具有不同厚度的偶极子层。接下来,执行偶极子驱入工艺(例如,热工艺)以将偶极子层的偶...
  • 一种用于从第一叠层(100)和第二叠层(200)制造共集成半导体结构(1)的方法,第一叠层(100)包括沟道层(10)和在其上的至少一个子叠层(150),其中至少一个子叠层(150)中的每一个从底部向上包括第一类型的牺牲层(21)、第一细长...
  • 提供了一种半导体器件及其制造方法。该半导体器件包括:具有第一极性的半导体壁;第一半导体层,沿着与第一方向交叉的第二方向在半导体壁的第一侧,第一半导体层具有第一极性或与第一极性相反的第二极性;以及背侧隔离结构,沿着与第一方向和第二方向交叉的第...
  • 本申请公开了一种电熔丝选通器件及其制造方法和电熔丝电路,所述电熔丝选通器件包括:多个双极晶体管,各所述双极晶体管包括发射区、围绕发射区设置的基区以及围绕所述基区设置的集电区,各所述发射区以及各所述基区分别用于形成对应各双极晶体管的发射极和基...
  • 提供半导体装置,其具备:n型的第一半导体区域(11);以及n型的公共接触区域(12),其在第一半导体区域之上局部地以高杂质浓度形成,与兼作开关元件的第一主电极和保护元件侧的保护元件侧第一电极的公共电极连接,在开关元件区域(R1)中设置有:在...
  • 具备半导体衬底(10),该半导体衬底(10)具有IGBT区域(1a)和FWD区域(1b),包括第1导电型的漂移层(11)、形成在漂移层(11)上的第2导电型的基极层(12)、在IGBT区域(1a)中形成在漂移层(11)中的与基极层(12)侧...
  • 本发明涉及氮化镓半导体技术领域,且公开了一种电场调控型GaN增强器件,包括衬底层、位于衬底层上方的MOS元胞和氮化镓结构以及介质层,所述MOS元胞从下向上分别有扩散层、阱区、源区以及MOS栅极,其中MOS栅极的两侧分别包括有MOS漏极和MO...
  • 半导体装置可以包括下布线图案、下绝缘层、沟道图案、栅电极、第一源极/漏极图案、第二源极/漏极图案,第一源极/漏极图案包括第一下部区域和第一中间区域。第二源极/漏极图案包括第二下部区域和第二中间区域。半导体装置进一步包括连接下布线图案和第一源...
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