台积电(中国)有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司金晓获国家专利权
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龙图腾网获悉台积电(中国)有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利移动式轨道系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224178573U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520578831.0,技术领域涉及:H10P72/30;该实用新型移动式轨道系统是由金晓;朱蓉;陈晨;黄文静设计研发完成,并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本移动式轨道系统在说明书摘要公布了:移动式轨道系统包括架子、水平导轨、线性导向系统以及固定机构。架子具有多个层架,且配置为容纳用于半导体工艺的多个晶圆承载装置。水平导轨邻近于架子。线性导向系统布置在架子下方,线性导向系统包括移动式轨道以及定位组件。移动式轨道集成于架子,且配置为沿预定路径使架子进行水平移动。定位组件机械地耦合于水平导轨,且配置为相连于移动式轨道。固定机构附着于架子上,且配置为将架子定位,固定机构包括旋转执行器,配置为驱动一插入元件插入定位组件中的对齐特征内。
本实用新型移动式轨道系统在权利要求书中公布了:1.一种移动式轨道系统,其特征在于,包括: 一架子,具有多个层架,且容纳多个晶圆承载装置; 一水平导轨,邻近于该架子; 一线性导向系统,布置在该架子下方,该线性导向系统包括: 一移动式轨道,集成于该架子;以及 一定位组件,机械地耦合于该水平导轨,且相连于该移动式轨道;以及 一固定机构,附着于该架子上,该固定机构包括一旋转执行器。
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