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龙图腾网获悉天津中科晶禾电子科技有限责任公司申请的专利一种调平装置及晶圆对准键合设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224178561U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520859895.8，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种调平装置及晶圆对准键合设备是由王莎;高智伟;母凤文;郭超;谭向虎;刘福超设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种调平装置及晶圆对准键合设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体材料加工设备技术领域，公开了一种调平装置及晶圆对准键合设备。第一托盘间隔设于第二托盘上方，分别承载第一晶圆和第二晶圆；托板与第二托盘固定连接；距离传感器设于第一承载组件上方并能沿水平方向移动，以检测多个点位的第一托盘和第二托盘之间的距离；调节机构包括连接组件和高精驱动件，连接组件为多个且绕托板的中心轴线方向均匀间隔设于托板，高精驱动件设于托板背离第一承载组件的一侧并与连接组件一一对应，高精驱动件包括第一端和第二端，第一端与连接组件铰接，连接组件能调节托板与第一端之间的距离；高精驱动件与距离传感器通讯连接，每个高精驱动件能独立沿竖直方向伸缩以调节托板与第二端之间的距离。

本实用新型一种调平装置及晶圆对准键合设备在权利要求书中公布了：1.一种调平装置，其特征在于，包括： 承载机构10，所述承载机构10包括第一承载组件11和第二承载组件12，所述第一承载组件11包括第一托盘111和第二托盘112,所述第一托盘111间隔设于所述第二托盘112上方，以分别承载第一晶圆和第二晶圆；所述第二承载组件12设于所述第一承载组件11下方，包括托板121，所述托板121与所述第二托盘112固定连接； 检测组件20，所述检测组件20包括距离传感器21，所述距离传感器21设于所述第一承载组件11上方并能沿水平方向移动，以检测多个点位的所述第一托盘111和所述第二托盘112之间的距离； 调节机构30，所述调节机构30包括连接组件31和高精驱动件32，所述连接组件31为多个且绕所述托板121的中心轴线方向均匀间隔设于所述托板121，所述高精驱动件32设于所述托板121背离所述第一承载组件11的一侧并与所述连接组件31一一对应，所述高精驱动件32包括第一端和第二端，所述第一端与所述连接组件31铰接，所述连接组件31能调节所述托板121与所述第一端之间的距离；所述高精驱动件32与所述距离传感器21通讯连接，每个所述高精驱动件32能独立沿竖直方向伸缩以调节所述托板121与所述第二端之间的距离。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人天津中科晶禾电子科技有限责任公司，其通讯地址为：300451 天津市滨海新区塘沽海洋科技园新北路4668号创新创业园22-A号厂房二层C角；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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