宸微设备科技(苏州)有限公司姚成汉获国家专利权
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龙图腾网获悉宸微设备科技(苏州)有限公司申请的专利晶圆烘烤腔室以及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224178560U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520847162.2，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型晶圆烘烤腔室以及半导体设备是由姚成汉;张满;邹文慧设计研发完成，并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆烘烤腔室以及半导体设备在说明书摘要公布了：一种晶圆烘烤腔室以及半导体设备，晶圆烘烤腔室的第一加热单元设置在隔断结构中，用于对分隔不同工艺腔室的隔断结构进行加热；同时，在每个工艺腔室内设置用于承载晶圆的基座，并在基座内部设置第二加热单元，能够直接对晶圆及其支撑结构进行加热，确保晶圆获得均匀的烘烤温度；此外，还设置了第三加热单元设置在腔体的各个壁部上，用于对各个工艺腔室的边缘进行加热的同时，进行边缘温度补偿，弥补可能存在的边缘热损失。通过在隔断结构、基座内部以及腔体壁部分别设置加热单元，形成了对工艺腔室不同关键区域的多点、分布式加热，这种组合方式能够更有效地控制和维持多个竖直堆叠的工艺腔室内部及其承载晶圆区域的温度均匀性。
本实用新型晶圆烘烤腔室以及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆烘烤腔室，其特征在于，包括： 腔体，包括内部空间： 至少一个隔断结构，设置在所述内部空间中，将所述内部空间分隔成在竖直方向上排布的至少两个工艺腔室； 第一加热单元，设置在所述隔断结构中，用于对所述隔断结构进行加热； 基座，设置在所述工艺腔室内，用于承载晶圆； 第二加热单元，设置在所述基座内部，用于对晶圆进行加热； 第三加热单元，设置在所述腔体的各个壁部上。
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