甬矽半导体(宁波)有限公司钟磊获国家专利权
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龙图腾网获悉甬矽半导体(宁波)有限公司申请的专利显影喷嘴和喷淋设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224176879U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521244777.2，技术领域涉及：G03F7/30；该实用新型显影喷嘴和喷淋设备是由钟磊;田旭;简志宏设计研发完成，并于2025-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本显影喷嘴和喷淋设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种显影喷嘴和喷淋设备，涉及光刻技术领域，该显影喷嘴包括供液主体和多个快拆喷淋嘴，供液主体内形成有供液流道，且供液主体的底侧设置有多个连通至供液流道的喷淋口，多个快拆喷淋嘴一一对应地可拆卸地对应装配在多个喷淋口中，每个快拆喷淋嘴上均设置有第一喷淋孔，第一喷淋孔连通至喷淋口，且第一喷淋孔的开口方向与喷淋口的开口方向不同。相较于现有技术，本实用新型可以利用快拆喷淋嘴上的第一喷淋孔进行喷淋动作，而第一喷淋孔的喷淋方向与喷淋口不同，因此快拆喷淋嘴能够起到缓冲作用，分散喷淋冲击力，避免冲击力不均的情况出现，保证喷洒的冲击力的一致性，从而确保晶圆显影的反应程度均匀性。
本实用新型显影喷嘴和喷淋设备在权利要求书中公布了：1.一种显影喷嘴，其特征在于，包括供液主体和多个快拆喷淋嘴，所述供液主体内形成有供液流道，且所述供液主体的底侧设置有多个连通至所述供液流道的喷淋口，多个所述快拆喷淋嘴一一对应地可拆卸地对应装配在多个所述喷淋口中，每个所述快拆喷淋嘴上均设置有多个第一喷淋孔，多个所述第一喷淋孔均连通至所述喷淋口，且每个所述第一喷淋孔的开口方向与所述喷淋口的开口方向不同。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人甬矽半导体(宁波)有限公司，其通讯地址为：315400 浙江省宁波市余姚市中意宁波生态园滨海大道60号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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