强一半导体(苏州)股份有限公司宋海永获国家专利权
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龙图腾网获悉强一半导体(苏州)股份有限公司申请的专利一种MEMS垂直式探针卡获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224176604U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520349675.0，技术领域涉及：G01R1/073；该实用新型一种MEMS垂直式探针卡是由宋海永;杨寿坤;郭靖;刘明星设计研发完成，并于2025-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS垂直式探针卡在说明书摘要公布了：一种MEMS垂直式探针卡，包括探针卡头部1，探针贯穿设置第一导板11和第二导板12的通孔内；所探针包括接地探针141和信号探针142；信号探针142中至少一信号探针作为高速探针1421；其特征在于：第一导板11的外表面、第一导板11的内表面、第二导板12的外表面和第二导板12的内表面四者中，至少有一者上电镀有线路层15，该线路层15具有一供接地的接地区151，该接地区151延伸至高速探针1421旁，与高速探针1421之间留有一用于决定阻抗的间隙距离A，调整所述间隙距离A即能够调整高速探针142的阻抗。
本实用新型一种MEMS垂直式探针卡在权利要求书中公布了：1.一种MEMS垂直式探针卡，包括探针卡头部1，所述探针卡头部1包括第一导板11、第二导板12以及探针14；所述第一导板11和第二导板12相距设置，所述第一导板11和第二导板12上开设通孔，所述探针贯穿设置在第一导板11和第二导板12的通孔内；所述探针包括接地探针141和信号探针142；所述信号探针142中至少一信号探针作为高速探针1421；其特征在于： 定义所述第一导板11和第二导板12相对的表面为内表面，其相背的表面为外表面；所述第一导板11的外表面、第一导板11的内表面、第二导板12的外表面和第二导板12的内表面四者中，至少有一者上电镀有线路层15，该线路层15具有一供接地的接地区151，该接地区151延伸至高速探针1421旁，与高速探针1421之间留有一用于决定阻抗的间隙距离A，调整所述间隙距离A即能够调整高速探针1421的阻抗。
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