致真精密仪器(青岛)有限公司张学莹获国家专利权
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龙图腾网获悉致真精密仪器(青岛)有限公司申请的专利一种扫描探针显微镜获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224176564U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521246945.1,技术领域涉及:G01Q60/00;该实用新型一种扫描探针显微镜是由张学莹;孙天然设计研发完成,并于2025-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种扫描探针显微镜在说明书摘要公布了:本申请提供了一种扫描探针显微镜,使光源发出的光束经过光调制器并入射探针的探针臂,扫描探针显微镜输出的信号至少响应于参考信号和探测器输出的信号,使扫描探针显微镜运行于接触模式时,向光调制器传递参考信号,并使光调制器的状态至少响应于参考信号;能够将被测物的表面特征的信号转移至参考信号对应的频率上,结合参考信号对敏感探测器输出的信号进行滤波,极大地提高了信噪比。本申请还提供了一种扫描探针显微镜。
本实用新型一种扫描探针显微镜在权利要求书中公布了:1.一种扫描探针显微镜,其特征在于:包括光源、光调制器、探针、探测器、驱动装置、参考信号发生装置,所述光源发出的光束经过所述光调制器并入射所述探针的探针臂,光束经所述探针臂反射后入射所述探测器; 所述光调制器被构造成使出射所述光调制器的光束的光强响应于所述光调制器的状态的形式,所述探针与驱动装置传动连接,所述探针能够在所述驱动装置的带动下振动, 所述参考信号发生装置与所述驱动装置、光调制器的其中至少之一通信连接。
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