致真精密仪器(青岛)有限公司孙天然获国家专利权
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龙图腾网获悉致真精密仪器(青岛)有限公司申请的专利扫描探针显微镜获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224176563U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521158977.6,技术领域涉及:G01Q60/00;该实用新型扫描探针显微镜是由孙天然;张学莹设计研发完成,并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本扫描探针显微镜在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种扫描探针显微镜,包括:光束转换镜组,被构造成将光源发出的光束转换为贝塞尔光束;探针,所述探针的探针臂至少部分地反射所述贝塞尔光束,所述探针臂的反光位置位于所述贝塞尔光束的焦深范围内;位置敏感探测器,被配置为能够根据接收到的所述探针臂反射的光束的位置,形成相应信号的形式。通过使探针处于贝塞尔光束的焦深范围内,降低了光路调整难度,降低了扫描探针显微镜的环境要求。
本实用新型扫描探针显微镜在权利要求书中公布了:1.一种扫描探针显微镜,其特征在于,包括: 光束转换镜组,被构造成将光源发出的光束转换为贝塞尔光束; 探针,所述探针的探针臂至少部分地反射所述贝塞尔光束,所述探针臂的反光位置位于所述贝塞尔光束的焦深范围内; 位置敏感探测器,被配置为能够根据接收到的所述探针臂反射的光束的位置,形成相应信号的形式。
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