越润集成电路(绍兴)有限公司李慧获国家专利权
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龙图腾网获悉越润集成电路(绍兴)有限公司申请的专利一种晶圆胶厚检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224175820U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520599030.2，技术领域涉及：G01B11/06；该实用新型一种晶圆胶厚检测装置是由李慧;江斐;王天玉;陶佳强;潘波设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆胶厚检测装置在说明书摘要公布了：本申请涉及晶圆光刻检测装置的技术领域，尤其是涉及一种晶圆胶厚检测装置，包括检测平台和设置于所述检测平台上侧的照射平台，所述检测平台用于固定晶圆，所述照射平台活动设置有安装板，所述安装板朝向所述检测平台的一侧设置有激光检测组件，所述激光检测组件用于测量与晶圆上表面最低处之间的距离。本申请具有以下效果：激光检测组件用于朝向晶圆发射对应激光，激光照射至晶圆表面或开口内发射后再次被激光检测组件接收，并且安装板按照预先轨迹完全照射晶圆表面，从而测得发射端与晶圆最低处的距离，后续对异常区域再次进行检测，较为简便且准确。
本实用新型一种晶圆胶厚检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆胶厚检测装置，其特征在于：包括检测平台100和设置于所述检测平台100上侧的照射平台110，所述检测平台100用于固定晶圆，所述照射平台110活动设置有安装板111，所述安装板111朝向所述检测平台100的一侧设置有激光检测组件112，所述激光检测组件112用于测量与晶圆上表面最低处之间的距离。
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