成都新紫光半导体科技有限公司戴必强获国家专利权
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龙图腾网获悉成都新紫光半导体科技有限公司申请的专利光刻胶涂布设备及其胶杯结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224167875U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520901065.7，技术领域涉及：B05C9/10；该实用新型光刻胶涂布设备及其胶杯结构是由戴必强设计研发完成，并于2025-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻胶涂布设备及其胶杯结构在说明书摘要公布了：本公开涉及一种光刻胶涂布设备及其胶杯结构。该胶杯结构包括：上胶杯件和下胶杯件，上胶杯件用于套设在承载晶圆的载台外周，且部分上胶杯件位于晶圆的上方、下胶杯件位于晶圆的下方，上胶杯件和下胶杯件的接合处设有锁紧结构，锁紧结构包括卡接件和配合件，卡接件和配合件的一者位于上胶杯件的外壁，另一者位于下胶杯件的外侧面，上胶杯件和下胶杯件通过卡接件和配合件卡接固定。如此，通过锁紧结构中卡接件和配合件的卡接固定，以使得上胶杯件和下胶杯件连接更稳定，避免了因上胶杯件和下胶杯件连接不牢靠导致的上胶杯件晃动，降低了光刻胶回溅到晶圆上的风险，提高了晶圆涂布的良率。
本实用新型光刻胶涂布设备及其胶杯结构在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶涂布设备的胶杯结构，其特征在于，包括： 上胶杯件和下胶杯件，所述上胶杯件用于套设在承载晶圆的载台外周，且部分所述上胶杯件位于所述晶圆的上方、所述下胶杯件位于所述晶圆的下方，所述上胶杯件和所述下胶杯件的接合处设有锁紧结构，所述锁紧结构包括卡接件和配合件，所述卡接件和所述配合件的一者位于所述上胶杯件的外壁，另一者位于所述下胶杯件的外侧面，所述上胶杯件和所述下胶杯件通过所述卡接件和所述配合件卡接固定。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人成都新紫光半导体科技有限公司，其通讯地址为：611730 四川省成都市成都高新区尚雅路7号附1号1楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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