广州南砂晶圆半导体技术有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉广州南砂晶圆半导体技术有限公司申请的专利一种适用于卡盘式刷片机的刷子获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224165901U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520865384.7,技术领域涉及:A46B5/00;该实用新型一种适用于卡盘式刷片机的刷子是由请求不公布姓名;张木青设计研发完成,并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于卡盘式刷片机的刷子在说明书摘要公布了:本申请提供一种适用于卡盘式刷片机的刷子,该刷子包括:刷洗部,刷洗部轴向截面呈圆台状;刷洗部包括第一刷洗部以及第二刷洗部,第一刷洗部为圆柱形状,第二刷洗部为圆台形状;第二刷洗部的上底面与第一刷洗部的下底面相连;还包括基座,基座轴向截面呈阶梯圆柱状;基座包括第一圆柱体以及第二圆柱体,第一圆柱体的底面直径大于第二圆柱体的底面直径,第一圆柱体的上底面与第二圆柱体的下底面连接,基座通过所述第一圆柱体的下底面与刷洗部的第一刷洗部连接。本申请中的刷洗部采用独特的圆台状结构,避免了衬底的夹持装置对刷体的阻挡,使得刷洗部与衬底边缘能够充分接触,增大了刷洗部与衬底表面的真实接触面积,提升清洗质量。
本实用新型一种适用于卡盘式刷片机的刷子在权利要求书中公布了:1.一种适用于卡盘式刷片机的刷子,用于对卡盘式刷片机上的衬底进行清洗,其特征在于,所述刷子包括: 刷洗部1,所述刷洗部1轴向截面呈圆台状;所述刷洗部1包括第一刷洗部11以及第二刷洗部12,所述第一刷洗部11为圆柱形状,所述第二刷洗部12为圆台形状;所述第二刷洗部12的上底面与所述第一刷洗部11的下底面相连,所述第一刷洗部11与所述第二刷洗部12一体成型; 基座2,所述刷子通过基座2与旋转电机的转头连接,所述基座2轴向截面呈阶梯圆柱状;所述基座2包括第一圆柱体21以及第二圆柱体22,所述第一圆柱体21的底面直径大于所述第二圆柱体22的底面直径,所述第一圆柱体21的上底面与所述第二圆柱体22的下底面连接,所述基座2通过所述第一圆柱体21的下底面与所述刷洗部1的第一刷洗部11连接,所述第一圆柱体21与所述第二圆柱体22一体成型。
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