北京航空航天大学王伟宗获国家专利权
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龙图腾网获悉北京航空航天大学申请的专利时间分辨各向异性球探针测量装置以及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121613240B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610148841.X,技术领域涉及:G01R31/00;该发明授权时间分辨各向异性球探针测量装置以及方法是由王伟宗;白珺珲;黄一容;张广川设计研发完成,并于2026-02-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本时间分辨各向异性球探针测量装置以及方法在说明书摘要公布了:本申请提供时间分辨各向异性球探针测量装置以及方法,该装置包括绝缘构件、保护构件以及收集构件;绝缘构件具有第一绝缘部以及第二绝缘部;保护构件包括保护极以及第一导电体;保护极设置于第一绝缘部的所述第二端面,保护极通过第一导电体用于与电源连接;收集构件包括第二导电体以及具有预设弧度的收集极;收集极分别设置于弧度空间;第二导电体的一端与收集极连接,且另一端穿过保护构件与电源连接。本申请收集构件内的第二导电体采用一种印刷电路板和导电杆结构的方式,增大了收集构件内部空间利用率,使得空间分辨率得到了提升。此外,保护极的设置保证各收集极在固定负偏压下等离子体鞘层的一致性与平坦性,确保所测电流信号准确可用。
本发明授权时间分辨各向异性球探针测量装置以及方法在权利要求书中公布了:1.一种时间分辨各向异性球探针测量方法,基于时间分辨各向异性球探针测量装置,所述时间分辨各向异性球探针测量装置包括绝缘构件、保护构件以及收集构件; 绝缘构件具有第一绝缘部以及第二绝缘部,所述第一绝缘部具有相互对置的第一端面以及第二端面;以所述第一绝缘部的中心轴为标准轴,所述第二绝缘部等间隔发散排布于所述第一端面;所述第二绝缘部外漏的端面具有预设弧度,使得相邻所述第二绝缘部之间围设有弧度空间; 保护构件包括保护极以及第一导电体;所述保护极设置于所述第一绝缘部的所述第二端面,所述保护极通过第一导电体用于与电源连接; 收集构件包括第二导电体以及具有所述预设弧度的收集极;所述收集极分别设置于所述弧度空间,使得所述收集构件呈半球状结构;所述第二导电体的一端与所述收集极连接,且另一端穿过所述保护构件与所述电源连接; 其特征在于,所述时间分辨各向异性球探针测量方法包括以下步骤: 采集标记步骤:设定所述电源具有预设偏电压;在所述预设偏电压下获取多个所述收集极不同时刻的电流值,对同一时刻的多个所述收集极的电流值进行排序,筛选最大主电流记作,与该收集极相邻的两个收集极的电流值,分别记作和; 构建电流密度与收集极电流值步骤:根据收集极电流公式1和电流密度公式2分别构建电流与电流密度的关系如公式3所示、电流与电流密度的关系如公式4所示以及电流与电流密度的关系如公式5所示; 1; 2; 其中,球面法向量,球面面积微元,为收集极的顶角,为方位角,为考虑鞘层的球半径;为电流密度,为电流密度在方向上的投影;为电流密度在方向上的投影;为电流密度在方向上的投影; 3; 4; 5; 电流密度计算步骤:通过公式6计算不同时刻下、、; 6; 其中,球半径通过进行修正,,为鞘层厚度,有,为德拜长度,有,为该点处电子温度,为该点处离子密度,,为真空介电常数,为元电荷量,为电源的负偏压,为该点处空间电势,通过发射探针求得。
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