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龙图腾网获悉中机机科(北京)智能技术有限公司;机科发展科技股份有限公司申请的专利晶圆对中机构、晶圆加工设备和晶圆对中控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120784199B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510886394.3，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权晶圆对中机构、晶圆加工设备和晶圆对中控制方法是由刘海超;吴进军;徐斌;杨生荣;徐学舟;高晓东设计研发完成，并于2025-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆对中机构、晶圆加工设备和晶圆对中控制方法在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种晶圆对中机构、晶圆加工设备和晶圆对中控制方法，属于半导体器件的技术领域，晶圆对中机构包括单元主体平台1，设备机架2、光电传感器3、单元调平组件4和电磁式滑销组件5，在单元主体平台1上安装有晶圆放置圆台6，单元主体平台1开设有径向滑槽11，电磁式滑销组件5的止动端521在电磁驱动下沿径向滑槽11向晶圆放置圆台6的中心滑动，带动晶圆运动使晶圆的中心与晶圆放置圆台6的中心对齐。本申请实施例省去了复杂的传感器和各种复杂机械结构，节约了生产成本，同时提高了晶圆加工设备的可靠性和稳定性，通过简单零件的组合实现了晶圆对中机构的调平需要，具有结构简单、零部件少、安装容易等优势。

本发明授权晶圆对中机构、晶圆加工设备和晶圆对中控制方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆对中机构，其特征在于，包括单元主体平台1，设备机架2、电磁式滑销组件5，其中： 单元主体平台1，在单元主体平台1上安装有晶圆放置圆台6，单元主体平台1开设有径向滑槽11，所述径向滑槽11以晶圆放置圆台6为圆心呈放射状布置； 电磁式滑销组件5，所述电磁式滑销组件5的一端为止动端521，所述止动端521穿设于所述径向滑槽11，止动端521用于抵接晶圆的外廓，止动端521在电磁驱动下沿径向滑槽11向晶圆放置圆台6的中心滑动，使晶圆的中心与晶圆放置圆台6的中心对齐， 所述电磁式滑销组件5包括：滑销帽51、滑销52、弹簧53、滑销外壳54、电磁线圈55、线圈端盖56，所述滑销52为L形，L形的滑销一端为止动端521，另一端为抵接端522，所述抵接端522与弹簧53的一侧抵接，所述弹簧53的另一侧设置有电磁线圈55，所述电磁线圈55与外部电源相连，通过电磁感应生成电磁力， 所述滑销帽51通过螺纹紧固在止动端521上，所述滑销52的抵接端522伸入滑销外壳54的销体容腔542内并与弹簧53抵接，在滑销52设置有易磁化材料， 所述滑销52伸入销体容腔542的部分设置有径向突出的平键523，在滑销外壳54的内壁上设置有与所述平键523对应的键槽541，在滑销外壳54内设置有用于容纳电磁线圈55的电磁线圈容腔543，所述电磁线圈容腔543与销体容腔542连通，在所述销体容腔542的开口处设置有弹簧端盖57，在所述电磁线圈容腔543的开口处设置有线圈端盖56。

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