天津环博科技有限责任公司靳立辉获国家专利权
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龙图腾网获悉天津环博科技有限责任公司申请的专利一种片篮检测方法、检测机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116297207B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310329575.7，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权一种片篮检测方法、检测机构是由靳立辉;杨骅;任志高;姚长娟;靳晓伟;李伟;王拓;赵晓光;王欢设计研发完成，并于2023-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种片篮检测方法、检测机构在说明书摘要公布了：本发明提供一种片篮检测方法，包括对片篮两端底板之间的轴向变形量的检测以及对片篮中用于放置硅片的所有侧杆进行缺陷检测，当测得的底板的轴向变形量不合格和或侧杆有缺陷时，则该片篮为异常品。本发明通过设在片篮底板两侧的两组对射光纤来检测两底板错位倾斜变形，以及通过移动可调的视觉检测对片篮上的每一个侧杆进行多组位置扫描以进行视觉分析，检查出侧杆有无断齿、歪齿、断杆或开裂等问题；判断精准度高且速度快，可边检测边用于生产，自动化程度高且检测效率高。本发明还提出一种片篮检测机构。
本发明授权一种片篮检测方法、检测机构在权利要求书中公布了：1.一种片篮检测方法，其特征在于，包括： 对片篮两端底板之间的轴向变形量的检测，其中，所述轴向变形量通过相对对射配置的光纤传感器进行测量；每一组光纤传感器对射时，可获得两组位置坐标，进而获得该组光纤传感器所对应的测试点的轴向偏移量； 以及对片篮中用于放置硅片的所有侧杆进行缺陷检测，其中，所述缺陷检测包括沿每排侧杆长度方向分段获取侧杆及侧杆上齿槽的成像信息；对所有成像信息进行取像分析，并与预设的缺陷图像进行比对，以识别侧杆缺陷的类别； 当测得的底板的轴向变形量不合格和或侧杆有缺陷时，则该片篮为异常品； 其中，所述轴向变形量包括底板沿其长度方向上的内侧变形量和外侧变形量；用于测量所述内侧变形量的光纤传感器均被配置在片篮中同排的两个侧杆的内侧，且紧贴底板上凹槽的内壁面；用于测量所述外侧变形量的光纤传感器被配置在片篮中同排的两个侧杆的外侧，且紧贴底板的外壁面。
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