东京毅力科创株式会社中込涉获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利搬送方法和处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116210078B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180063757.3，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权搬送方法和处理系统是由中込涉;村川章太郎;佐藤直之;仙头史孝;向山达也;窪田茂;平出圭介设计研发完成，并于2021-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本搬送方法和处理系统在说明书摘要公布了：一种方法，在具备对基板实施期望的处理的至少一个处理部以及对所述处理部搬送基板的搬送部的处理系统中将要连续处理的多个基板从所述搬送部搬送到所述处理部，在所述方法中，预先对多个所述基板各分别分配用于任意地变更针对该基板的处理时间的调整值，所述方法包括以下工序：获取分配给本次处理的第一基板的所述调整值；获取分配给在所述第一基板之前进行了处理的基准基板的基准调整值；获取对所述基准基板进行的实际的处理时间即实际时间；通过使分配给所述第一基板的所述调整值与所述基准调整值之差反映到所述实际时间中，来计算第一基板的预测处理时间；以及基于计算出的所述预测处理时间来调整在所述第一基板之后处理的第二基板的搬送定时。
本发明授权搬送方法和处理系统在权利要求书中公布了：1.一种搬送方法，在具备对基板实施期望的处理的至少一个处理部以及对所述处理部搬送基板的搬送部的处理系统中将要连续处理的多个基板从所述搬送部搬送到所述处理部， 在所述搬送方法中，预先对多个所述基板分别分配用于任意地变更针对该基板的处理时间的调整值， 所述搬送方法包括以下工序： 获取分配给本次处理的第一基板的所述调整值； 获取分配给在所述第一基板之前进行了处理的基准基板的基准调整值； 获取对所述基准基板进行的实际的处理时间即实际时间； 通过使分配给所述第一基板的所述调整值与所述基准调整值之差反映到所述实际时间中，来计算第一基板的预测处理时间；以及 基于计算出的所述预测处理时间来调整在所述第一基板之后处理的第二基板的搬送定时。
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