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龙图腾网获悉北京晶亦精微科技股份有限公司申请的专利一种化学机械研磨方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116186491B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310189935.8，技术领域涉及：G06F17/18；该发明授权一种化学机械研磨方法是由白琨;李嘉浪;周庆亚;贾若雨设计研发完成，并于2023-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种化学机械研磨方法在说明书摘要公布了：一种化学机械研磨方法，包括：获取对当前第n片晶圆的研磨液流量的设置值和第n片晶圆的研磨时间的设置值；获取第一片晶圆至第n‑1片晶圆的研磨液实际流量；根据采用自回归模型以及第一片晶圆至第n‑1片晶圆的研磨液实际流量获取第n片晶圆的研磨液预测流量，自回归模型为若第n片晶圆的研磨液预测流量大于第n片晶圆的研磨液流量的设置值，设置第n片晶圆的研磨液预测时间小于第n片晶圆的研磨时间的设置值；若第n片晶圆的研磨液预测流量小于第n片晶圆的研磨液流量的设置值，设置第n片晶圆的研磨液预测时间大于第n片晶圆的研磨时间的设置值；根据第n片晶圆的研磨液流量的设置值和第n片晶圆的研磨液预测时间对第n片晶圆进行研磨。

本发明授权一种化学机械研磨方法在权利要求书中公布了：1.一种化学机械研磨方法，其特征在于，包括： 步骤S1：获取对当前第n片晶圆的研磨液流量的设置值和第n片晶圆的研磨时间的设置值，n为大于或等于2的整数； 步骤S2：获取第一片晶圆至第n-1片晶圆的研磨液实际流量； 步骤S3：根据采用自回归模型以及第一片晶圆至第n-1片晶圆的研磨液实际流量获取第n片晶圆的研磨液预测流量，自回归模型为，其中，xn为第n片晶圆的研磨液预测流量，p为自回归模型的阶数，xn-i为第n-i片晶圆的研磨液实际流量；wn为针对第n片晶圆的白噪声系数；p为大于或等于1且小于或等于n-1的整数；i为大于或等于1且小于或等于p的整数；αi为自回归模型中对于第n-i片晶圆的自回归系数； 步骤S4：若第n片晶圆的研磨液预测流量大于第n片晶圆的研磨液流量的设置值，则设置第n片晶圆的研磨液预测时间小于第n片晶圆的研磨时间的设置值；若第n片晶圆的研磨液预测流量小于第n片晶圆的研磨液流量的设置值，则设置第n片晶圆的研磨液预测时间大于第n片晶圆的研磨时间的设置值；第n片晶圆的研磨液预测流量和第n片晶圆的研磨液预测时间的乘积等于第n片晶圆的研磨液流量的设置值和第n片晶圆的研磨时间的设置值的乘积； 步骤S5：根据第n片晶圆的研磨液流量的设置值和第n片晶圆的研磨液预测时间对第n片晶圆进行研磨。

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