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龙图腾网获悉华东光电集成器件研究所申请的专利一种适用于旋转喷镀的双面电镀工装获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116121822B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211515476.X，技术领域涉及：C25D5/08；该发明授权一种适用于旋转喷镀的双面电镀工装是由房立峰;张伟;包星晨;张子文;赵加乐设计研发完成，并于2022-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种适用于旋转喷镀的双面电镀工装在说明书摘要公布了：本发明提供一种适用于旋转喷镀的双面电镀工装，它包括配合连接的下环体、上环体和上盖，在下环体上设有带有一组下导电梳齿片的导电环，在上环体上设有带有一组上导电梳齿片的上导电环，在上环体上还均布有一组与上盖接触的支撑筒，在支撑筒内穿设有与上导电环连接的导电柱，在上盖内置有导电盘，在导电盘上均布有一组与导电柱对应配合的导电引柱，在导电片上还设有伸出上盖的导电轴，在上盖上均布有一组穿透上盖和导电盘的电镀液交换孔。本发明结构简单、使用方便，在倾斜旋转喷镀电镀工艺腔体结构基础上，实现了晶圆双面电镀，具有双面电镀速率差异小，均匀性高，操作简单，适用性强等优点。

本发明授权一种适用于旋转喷镀的双面电镀工装在权利要求书中公布了：1.一种适用于旋转喷镀的双面电镀工装，其特征在于：它包括通过一组绝缘螺钉依次同轴连接在一起的下环体1、上环体2和上盖3，在下环体1上设有下环形台阶1a和下环槽1b，设置一个安装在下环槽1b内的下导电环4，在下导电环4上设有一组下导电梳齿片4a，在下环槽1b的槽壁上设有一组与下导电梳齿片4a对应的通孔，以便下导电梳齿片4a的一端伸入到下环形台阶1a的范围内； 在上环体2上设有环形台阶2a和上环槽2b,设置一个安装在上环槽2b内的上导电环5，在上导电环5上设有一组上导电梳齿片5a，在上环槽2b的槽壁上设有一组与上导电梳齿片5a对应通孔，以便上导电梳齿片5a的一端伸入到上环形台阶2a的范围内，所属上、下导电梳齿片5a、4a为对应分布，在上环体2上还均布有一端与上导电环连接的导电柱5c，在导电柱5c上套设有一端与上环体2连接的支撑筒2c； 上盖3里内置有导电盘6，在导电盘6上均布有一组一端伸出上盖3的导电引柱6a，导电引柱6a与导电柱5c对应分布配合，在导电盘6上还设有伸出上盖的导电轴6b,在导电轴6b的伸端端部设有螺纹6c，在上盖3上均布有一组穿透导电盘6的电镀液交换孔7； 支撑筒2c与上环体2为一体式结构，下环体1、上环体2、上盖3和支撑筒2c为绝缘材料制成。

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