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上海现代先进超精密制造中心有限公司钱俊获国家专利权

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龙图腾网获悉上海现代先进超精密制造中心有限公司申请的专利一种适应检测面反射率实现高干涉对比度的菲索干涉仪获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116105594B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211639208.9,技术领域涉及:G01B9/02;该发明授权一种适应检测面反射率实现高干涉对比度的菲索干涉仪是由钱俊设计研发完成,并于2022-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。

一种适应检测面反射率实现高干涉对比度的菲索干涉仪在说明书摘要公布了:本发明涉及光学技术领域。一种适应检测面反射率实现高干涉对比度的菲索干涉仪,包括沿着第一光路方向依次排布的激光器光源、12波片、汇聚镜组、照明光阑、偏振分束器、准直镜组、法拉第旋光器、偏振参考镜组;还包括沿第二光路方向依次排布的成像光阑、成像镜组、ccd相机;12波片安装在用于调节快轴角度的旋转机构上;第一光路方向与偏振分束器的透射光轴方向相同,第二光路方向与偏振分束器的反射光轴方向相同。本发明干涉信号的最大光强由激光器光源的输出功率和12波片共同调节;干涉信号的对比度由法拉第旋光器调节。

本发明授权一种适应检测面反射率实现高干涉对比度的菲索干涉仪在权利要求书中公布了:1.一种适应检测面反射率实现高干涉对比度的菲索干涉仪,其特征在于,包括沿着第一光路方向依次排布的激光器光源、12波片、汇聚镜组、照明光阑、偏振分束器、准直镜组、法拉第旋光器、偏振参考镜组; 还包括沿第二光路方向依次排布的成像光阑、成像镜组、ccd相机; 所述第一光路方向与所述偏振分束器的透射光轴方向相同,所述第二光路方向与所述偏振分束器的反射光轴方向相同; 所述12波片安装在用于调节快轴角度的旋转机构上,通过旋转12波片改变透过光束的偏振方向,最终配合偏振分束器实现透过光束的能量衰减且衰减比例连续可调; 所述偏振参考镜组的入射光为线偏振光,返回参考光为线偏光且偏振方向与入射光的偏振方向相同,返回测量光为线偏光且偏振方向与入射光的偏振方向垂直; 所述偏振参考镜组包括沿着第一光路方向依次排布的第一介质、参考面、第二介质以及增透膜; 所述第一介质为非晶体光学介质; 所述第二介质为双折射晶体光学介质; 返回的参考光和测量光再次进入法拉第旋光器后偏振方向同步旋转,之后再次经过偏振分束器;进入偏振分束器的参考光和测量光具有不同的偏振方向; 所述成像镜组将参考光和测量光成像到所述ccd相机的焦面并形成干涉信号;ccd相机焦面处的参考光和测量光为偏振方向相同的线偏光,此时,干涉信号的对比度由参考光强度与测量光强度的比值决定。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海现代先进超精密制造中心有限公司,其通讯地址为:201292 上海市浦东新区民风路396号4幢1层、3层301室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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