买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉磐石创新(江苏)电子装备有限公司申请的专利一种硅片腐蚀后快速转运装置及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116092997B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310096355.4，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权一种硅片腐蚀后快速转运装置及其使用方法是由王云飞;贾世杰;袁大飞;李天兵;董知悦;魏守冲设计研发完成，并于2023-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅片腐蚀后快速转运装置及其使用方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种硅片腐蚀后快速转运装置及其使用方法，该装置包括腐蚀槽、位于腐蚀槽一侧的水槽；所述腐蚀槽和水槽之间设置有动力驱动机构，所述动力驱动机构包括动力输出机构、翻转摆动箱，所述动力输出机构通过传动机构与翻转摆动箱驱动连接；所述翻转摆动箱的底部设置有待转运的硅片，动力输出机构通过传动机构带动位于翻转摆动箱底部的待转运硅片作翻转运动，将待转运硅片从腐蚀槽转运至水槽。其具有结构设计合理、运行可靠稳定等优点，可实现硅片在槽体间极快速度转运，使转运时间在规定范围内，并可对硅片进行全方位的清洗。

本发明授权一种硅片腐蚀后快速转运装置及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种硅片腐蚀后快速转运装置，其特征在于：该装置包括腐蚀槽7、位于腐蚀槽一侧的水槽8；所述腐蚀槽和水槽之间设置有动力驱动机构，所述动力驱动机构包括动力输出机构1、翻转摆动箱4，所述动力输出机构通过传动机构与翻转摆动箱驱动连接；所述翻转摆动箱的底部设置有待转运的硅片6，动力输出机构通过传动机构带动位于翻转摆动箱底部的待转运硅片作翻转运动，将待转运硅片从腐蚀槽转运至水槽；所述动力输出机构包括安装座、固定设置在安装座上的驱动电机1、位于驱动电机输出轴上的主动齿轮2以及与主动齿轮相啮合的从动齿轮3，所述从动齿轮通过的转动轴转动设置在安装座上，所述转动轴的一端与从动齿轮连接，另一端与传动机构相连接；所述传动机构包括摆动臂，所述翻转摆动箱包括倒“凵”型的翻转摆动架4-3，所述翻转摆动架的左右两侧臂的至少一个侧臂上设置有滑动板4-2，所述摆动臂的一端与转动轴花键连接，另一端与所述滑动板的铰接连接，并能够在摆动臂转动时带动翻转摆动架绕着转动轴作圆周运动；所述翻转摆动架的槽口处设置有硅片放置腐蚀笼4-1；所述动力输出机构的数量为两个，并且对称设置在腐蚀槽与水槽之间；所述滑动板的顶部还设置有用于限制滑动板运动行程的限位臂架5；所述滑动板与摆动臂的铰接处设置有引导销，所述限位臂架包括限位架体5-1，所述限位架体的左右两侧设置有与引导销滚动配合的限位导轮5-2；所述摆动臂的摆动范围为0-180°。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人磐石创新(江苏)电子装备有限公司，其通讯地址为：221011 江苏省徐州市贾汪区徐州工业园区中经一路西侧；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。