纽富来科技股份有限公司武田雅矢获国家专利权
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龙图腾网获悉纽富来科技股份有限公司申请的专利检查装置以及焦点位置调整方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116068861B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211286471.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权检查装置以及焦点位置调整方法是由武田雅矢设计研发完成，并于2022-10-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本检查装置以及焦点位置调整方法在说明书摘要公布了：提供一种检查装置以及焦点位置调整方法，能够减少自动对焦的追随延迟。根据实施方式，检查装置包括：工作台；照明光学系统；成像光学系统，包括检测焦点位置的传感器；检测电路，基于传感器接收到的光，检测光的焦点位置信号；设定电路，根据使基于对试样被假想分割成的多个条纹状的区域的第1区域进行光扫描而得的结果生成的第1焦点位置数据的坐标数据朝工作台的行进方向位移的结果，设定第1区域的第1聚焦偏移值；以及控制电路，基于焦点位置信号和第1聚焦偏移值，对工作台高度位置进行控制。
本发明授权检查装置以及焦点位置调整方法在权利要求书中公布了：1.一种检查装置，具备： 工作台，载置试样； 照明光学系统，照射用于上述试样的光扫描的光； 成像光学系统，包括检测焦点位置的传感器，使照射到上述试样的上述光在上述传感器上成像； 检测电路，基于上述传感器接收到的上述光，检测上述光的焦点位置信号； 设定电路，根据使基于对上述试样在与上述工作台的行进方向正交的方向上被假想分割成的多个条纹状的区域的第1区域进行光扫描而得的结果生成的第1焦点位置数据的坐标数据朝上述工作台的上述行进方向位移的结果，设定上述第1区域的第1聚焦偏移值；以及 控制电路，基于上述焦点位置信号和上述第1聚焦偏移值，对工作台高度位置进行控制， 当朝第1方向进行光扫描时，上述工作台朝与上述第1方向相向的第2方向移动。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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