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龙图腾网获悉东北大学申请的专利一种晶圆喷印涂胶装置及工艺方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116047863B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211343087.3，技术领域涉及：G03F7/16；该发明授权一种晶圆喷印涂胶装置及工艺方法是由张磊;郭冠顺;王修琨;李景俊;郭世泽设计研发完成，并于2022-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆喷印涂胶装置及工艺方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆喷印涂胶装置及工艺方法。所述装置包括上位机、总控制器、运动控制系统、稳定供墨系统、吸附与加热装置、喷印控制系统；上位机和总控制器使用以太网接口进行通讯，总控制器连接运动控制系统、稳定供墨系统、吸附与加热装置、喷印控制系统四个子系统，其中总控制器与运动控制系统使用并行接口直连，总控制器使用Rs485接口与吸附与加热装置、稳定供墨系统进行连接，总控制器与喷印控制系统使用光纤串行接口连接；采用多微孔喷头，喷头按照预设的喷头间距形成阵列形式，喷头阵列方法可以使原本多次的扫描运动同时进行，喷头和喷头之间直接不再产生边界，从根本上解决了连接处膜厚不均匀的问题。

本发明授权一种晶圆喷印涂胶装置及工艺方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆喷印涂胶工艺方法，基于一种晶圆喷印涂胶装置实现，所述晶圆喷印涂胶装置，包括：上位机、总控制器、运动控制系统、稳定供墨系统、吸附与加热装置、喷印控制系统；上位机和总控制器使用以太网接口进行通讯，总控制器连接运动控制系统、稳定供墨系统、吸附与加热装置、喷印控制系统四个子系统，其中总控制器与运动控制系统使用并行接口直连，总控制器与吸附与加热装置使用Rs485接口连接，总控制器与稳定供墨系统使用Rs485接口连接，总控制器与喷印控制系统使用光纤串行接口连接； 所述喷印控制系统用于负责控制喷头的电压、频率参数，并将这些信息反馈至总控制器，通过控制喷头电压的大小、正负、时长和喷涂频率实现喷头对光刻胶的均匀喷涂； 其特征在于，包括以下步骤： 步骤1：将晶圆放置在Z轴旋转平台后，通过真空吸附装置进行固定，调整喷头组A、B和C的喷头数目、高度和安装间距； 步骤2：采用插指喷涂方法控制每个喷头的喷涂，对晶圆进行前置处理，包括清洗、加热、预处理； 喷涂开始前，上位机发送X轴的开始位置、结束位置和喷涂间距到总控制器，总控制器在开始位置和结束位置之间，每隔一个喷涂间距记录一个喷涂位置，计算出X轴的所有喷涂位置；喷涂过程中喷头沿X轴进行移动，光栅尺反馈位置信息；奇数喷孔到达一个喷涂位置时，喷头控制器施加电压进行一次喷涂；偶数喷孔在X轴到达相同的喷涂位置时，也通过电压控制进行一次喷涂；由于奇、偶喷孔在Y轴上交错，在X轴上喷涂位置相同，因此偶数喷孔喷涂的液滴会掉落在先前奇数喷孔喷涂的液滴间隙中，两组液滴彼此融合，获得更高的打印密度和可靠性；随着喷头移动经过每个X轴的喷涂位置，反复进行上述的电压控制，形成均匀的光刻胶薄膜； 步骤3：设定蠕动泵流量并打开蠕动泵，使用喷头组C对晶圆表面进行光刻胶喷涂，按光刻胶喷涂路径，以设定的速度和步距进行扫描，在整个晶圆表面形成均匀的光刻胶层； 步骤4：对晶圆进行加热处理，去除液体N和光刻胶稀释溶剂，同时提高沟槽顶部胶层厚度，使覆膜更加均匀。

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