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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种无图案晶圆缺陷多通道检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116046803B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310060938.1，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种无图案晶圆缺陷多通道检测系统是由杨青;王智;庞陈雷;林飞宏;殷源设计研发完成，并于2023-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种无图案晶圆缺陷多通道检测系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种无图案晶圆缺陷多通道检测系统，包括光纤束、准直透镜、第一狭缝光阑、偏振分束镜、第一筒镜、第一二向色镜、第二二向色镜、DIC棱镜、第一物镜、晶圆、第二狭缝光阑、中继镜、第一线阵相机、第二物镜、反射镜、检偏器、第二筒镜、第二线阵相机、纳秒激光器、整形器、第三二向色镜、第三筒镜、第一TDI相机、第四筒镜、第二TDI相机、第四二向色镜、第五筒镜、第三TDI相机、第六筒镜以及第四TDI相机。通过这些元件可以实现晶圆表面、亚表面及内部应力的缺陷检测，且可以实现晶圆表面缺陷和晶圆亚表面缺陷的同时检测，晶圆内部应力缺陷和晶圆亚表面缺陷的同时检测。

本发明授权一种无图案晶圆缺陷多通道检测系统在权利要求书中公布了：1.一种无图案晶圆缺陷多通道检测系统，其特征在于，当用于晶圆表面缺陷检测时，包括光纤束、准直透镜、第一狭缝光阑、偏振分束镜、第一筒镜、第一二向色镜、第二二向色镜、DIC棱镜、第一物镜、第二狭缝光阑、中继镜以及第一线阵相机，其中，第一狭缝光阑位于第一筒镜的焦点上，DIC棱镜的光轴方向与入射光的偏振方向呈45°，偏振分束镜的起偏方向与检偏方向均与DIC棱镜的光轴方向呈45°， 光纤束发出的连续光经过准直透镜准直并经过第一狭缝光阑选择透过后照射到偏振分束镜，偏振分束镜将入射光分成不同偏振特性的第一p光和第一s光，第一s光被偏振分束镜反射到第一筒镜，经过第一筒镜准直后再依次经过第一二向色镜和第二二向色镜透过后照射到DIC棱镜，DIC棱镜将入射光分为两束分离具有偏正特性的o光和e光，且o光和e光的相交干涉面与第一物镜的后焦面重合，o光和e光经过第一物镜汇聚在晶圆表面上，晶圆表面反射o光和e光并重新被第一物镜收集，再经过DIC棱镜重新合为一束光，聚合的光束依次经过第二二向色镜和第一二向色镜后到达第一筒镜，第一筒镜将带有信息的光束会聚到偏振分束镜，光束先经过偏振分束镜起偏并反射第二s光，随后经过DIC棱镜再被偏振分束镜检偏，构成了微分干涉成像的条件，偏振分束镜还透过第二p光，该第二p光在第二狭缝光阑会聚，第一狭缝光阑，第二狭缝光阑以及晶圆上表面是互为共轭的关系，构成线共焦成像的条件，第二狭缝光阑滤除掉晶圆上下表面的杂散光，使成像对比度提升，经过第二狭缝光的光线被中继镜成像后会聚到第一线阵相机。

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