深圳飞骧科技股份有限公司胡锦钊获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳飞骧科技股份有限公司申请的专利晶圆级声表面波滤波器及射频模组芯片获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115987245B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211626577.4,技术领域涉及:H03H9/64;该发明授权晶圆级声表面波滤波器及射频模组芯片是由胡锦钊;杨睿智;李帅;张磊;郭嘉帅设计研发完成,并于2022-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆级声表面波滤波器及射频模组芯片在说明书摘要公布了:本发明提供了一种晶圆级声表面波滤波器及射频模组芯片,晶圆级声表面波滤波器包括:衬底;插指组件,插指组件包括通过光刻丝印形成于衬底上插指、汇流条和金属板;围堰,围堰固定于衬底;盖板,盖板盖设于围堰上,盖板设有多个贯穿其上的通孔;金属柱,多个金属柱分别固定于衬底且分别插入对应的一个通孔内;金属共地层,金属共地层贴设于盖板远离插指组件的一侧,其中部分金属柱与金属共地层电连接以形成共地信号端,其中另一部分金属柱与金属共地层绝缘以形成信号输入端和信号输出端;以及锡球,每一个金属柱远离衬底的一端固定设置一个锡球。本发明晶圆级声表面波滤波器的结构简单,抗磨压性能良好,WLP封装可靠性高。
本发明授权晶圆级声表面波滤波器及射频模组芯片在权利要求书中公布了:1.一种晶圆级声表面波滤波器,其特征在于,所述晶圆级声表面波滤波器包括: 衬底,所述衬底为压电材料制成; 插指组件,所述插指组件包括通过光刻丝印形成于所述衬底上插指、汇流条和金属板;所述插指与所述汇流条连接,所述汇流条连接所述金属板; 围堰,所述围堰呈环形结构,所述围堰固定于所述衬底,所述围堰间隔环绕所述插指及所述汇流条设置,所述金属板穿过所述围堰用于与外部电连接; 盖板,所述盖板盖设于所述围堰上,所述盖板设有多个贯穿其上的通孔; 金属柱,所述金属柱包括多个并位于所述围堰的内侧,多个所述金属柱分别固定于所述衬底且分别插入对应的一个所述通孔内,以外露于所述盖板; 金属共地层,所述金属共地层贴设于所述盖板远离所述插指组件的一侧,其中部分所述金属柱与所述金属共地层电连接以形成共地信号端,其中另一部分所述金属柱与所述金属共地层绝缘以形成信号输入端和信号输出端;以及, 锡球,所述锡球包括多个,每一个所述金属柱远离所述衬底的一端固定设置一个所述锡球。
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