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中国计量大学;浙江工业大学厉志安获国家专利权

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龙图腾网获悉中国计量大学;浙江工业大学申请的专利一种磨粒流微流道抛光质量可靠性分析系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115964940B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211628701.0,技术领域涉及:G06F30/27;该发明授权一种磨粒流微流道抛光质量可靠性分析系统及方法是由厉志安;李笑;潘柏松;葛江勤;李琛;唐萍;颜孙挺;施罗杰设计研发完成,并于2022-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

一种磨粒流微流道抛光质量可靠性分析系统及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种磨粒流微流道抛光质量可靠性分析系统,包括磨粒流抛光系统,质量检测系统和可靠性分析系统,所述磨粒流抛光系统用于微流控芯片内微流道的抛光加工;所述质量检测系统用于对加工后的微流道进行质量检测,得到检测值R1;所述可靠性分析系统对加工质量的可靠性分析,分析的信息基础为加工参数P和检测得到的微流道加工质量检测值R1;所述可靠性分析系统将调整后的加工参数传输给所述的磨粒流抛光系统,用于控制微流道抛光。本发明还公开了一种磨粒流微流道抛光质量可靠性分析方法。本发明利用新的学习函数,新学习函数引入的相关系数,既提高了模型在阈值附近的准确性,又能避免在低相关区域的准确性,确保了可靠性分析的准确性。

本发明授权一种磨粒流微流道抛光质量可靠性分析系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种磨粒流微流道抛光质量可靠性分析系统,包括磨粒流抛光系统,质量检测系统和可靠性分析系统,其特征在于:所述磨粒流抛光系统用于微流控芯片内微流道的抛光加工;所述质量检测系统用于对加工后的微流道进行质量检测,得到检测值R1;所述可靠性分析系统对加工质量的可靠性分析,分析的信息基础为加工参数P和检测得到的微流道加工质量检测值R1;所述可靠性分析系统将调整后的加工参数传输给所述的磨粒流抛光系统,用于控制微流道抛光; 所述可靠性分析系统从磨粒抛光系统中读取使用的加工参数P,从质量检测系统读取微流道加工质量检测值R1;利用加工参数P和检测值R1基于Kriging模型构建加工质量响应面代理模型A,并利用上述构建的代理模型A通过蒙特卡洛模拟试验方法计算加工质量的可靠性或失效概率,其失效概率如公式1: 1 式中:为加工失效的概率,为利用蒙特卡洛进行试验的总次数,为次试验中不符合加工质量要求的次数,表示表面太粗糙,加工质量不满足要求,若,则表示加工质量满足要求,,为要求的表面粗糙度阈值; 所述的代理模型A是通过Kriging方法的主动学习函数更新构建的,主动学习函数如公式2所示: 2 式中:为学习函数,为基于构建的代理模型A的预测值,为预测值的方差,为相关性系数最大值,其值在0,1]之间,为指数系数,可以为任意非负有理数,这里,为加工使用的参数; 所述的代理模型A是通过Kriging方法的主动学习函数更新构建的,主动学习函数如公式3所示: 3 式中:为学习函数,为基于构建的代理模型A的预测值,为预测值的方差。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国计量大学;浙江工业大学,其通讯地址为:310018 浙江省杭州市下沙高教园区学源街258号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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