买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉若名芯装备(苏州)有限公司;若名芯半导体科技(苏州)有限公司申请的专利一种温度均一性好的晶圆高温药液清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115831811B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211340135.3，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种温度均一性好的晶圆高温药液清洗装置是由余涛;庞金元设计研发完成，并于2022-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种温度均一性好的晶圆高温药液清洗装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种温度均一性好的晶圆高温药液清洗装置，包括旋转台，旋转台上设有卡爪，旋转台的上方设有可移动的正面喷嘴；下保温板可上下移动的设置在旋转台内并位于由卡爪夹持的晶圆下方，下保温板上开有喷液口以及位于下保温板中心处贯穿设置的排液口；至少两个背面喷嘴可上下移动的设置在旋转台内并位于下保温板的下方；上保温部可上下升降的设置在由卡爪夹持的晶圆上方，上保温部内具有从上保温部内部的外围逐渐流向上保温部中心的保温液，本发明利用上保温部和下保温板以及侧面加热件对晶圆的上下以及侧面进行加热保温，减少了热量的损失，确保晶圆以及晶圆上的药液的温度处于需求的高温范围内，且温度的均一性好，提升了晶圆的蚀刻率等。

本发明授权一种温度均一性好的晶圆高温药液清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种温度均一性好的晶圆高温药液清洗装置，包括旋转台，所述旋转台上设有用于夹持晶圆的卡爪，所述旋转台的上方设有可移动的正面喷嘴，其特征在于，还包括： 下保温板，可上下移动的设置在所述旋转台内并位于由所述卡爪夹持的晶圆下方，所述下保温板上开有喷液口以及位于所述下保温板中心处贯穿设置的排液口； 至少两个背面喷嘴，可上下移动的设置在所述旋转台内并位于所述下保温板的下方，其中，所述背面喷嘴通过喷液口将高温药液喷至由所述卡爪夹持的晶圆背面； 上保温部，可上下升降的设置在由所述卡爪夹持的晶圆上方，所述上保温部内具有从所述上保温部内部的外围逐渐流向上保温部中心的保温液；所述上保温部包括： 保温板，所述保温板的内部呈中空状，所述保温板内具有保温液进口和保温液出口； 第一隔离件，所述第一隔离件设置在所述保温板内，并且沿着所述保温板内部边缘处分布后构成了带有第一入口的第一区域，其中，所述第一隔离件与保温板的内壁之间具有第一流动区域； 第二隔离件，设置在所述第一区域内，所述第二隔离件沿着所述第一隔离件的周长方向分布后构成了带有第二入口的第二区域，其中，所述第二隔离件与第一隔离件之间具有第二流动区域； 第三隔离件，设置在所述第二区域内，所述第三隔离件沿着所述第二隔离件的周长方向分布后构成了留有第三入口的第三流动区域，其中所述第三隔离件和第二隔离件之间构成了第四流动区域； 其中，所述保温液进口位于所述第一流动区域内，所述保温液出口位于所述第三流动区域内。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人若名芯装备(苏州)有限公司;若名芯半导体科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市张家港市凤凰镇恬庄村第二十四组100号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。