四川启睿克科技有限公司刘浩获国家专利权
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龙图腾网获悉四川启睿克科技有限公司申请的专利一种基于MEMS法珀腔芯片的精确化波长标定方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115824409B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211496848.9,技术领域涉及:G01J3/28;该发明授权一种基于MEMS法珀腔芯片的精确化波长标定方法是由刘浩;赵浩宇;周思豪;蔡利;闫晓剑;张国宏设计研发完成,并于2022-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于MEMS法珀腔芯片的精确化波长标定方法在说明书摘要公布了:本发明主要涉及近红外光谱技术领域。为了解决MEMS法珀腔芯片的常规波长标定方法精度较低,通常需要对单一波长进行重复标定以保证其测量精度,耗时耗力的为题,本发明提供一种基于MEMS法珀腔的精确化波长标定方法,首先根据MEMS法珀腔芯片波长范围及波长点数目计算各波长点的波长,确定需要进行标定的波长点标定波长点λm,设定大范围电压间隔进行扫描,粗略获取λm对应的标定电压v1,然后根据标定电压v1进行精细化扫描电压范围选定,缩小电压间隔精细化获取标定电压v2,固定标定电压v2,设定小范围波长间隔进行扫描,计算获取v2对应的标定波长λp,最后电压v2进行微调得到波长点λm对应的电压。本发明所述的方法主要适用于微型近红外光谱系统的波长标定。
本发明授权一种基于MEMS法珀腔芯片的精确化波长标定方法在权利要求书中公布了:1.一种基于MEMS法珀腔芯片的精确化波长标定方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤1:选择待标定电压的波长点,进行粗扫描,获取波长点对应的粗略标定电压; 步骤2:根据粗略标定电压和粗扫描中设置的扫描电压间隔步长确定精扫描的电压范围,获取精细标定电压; 步骤3:计算精细标定电压对应的波长点;具体包括: 获取波长为nm、nm、nm、nm的波长点的光强值,若波长为nm对应的波长点光强值为,波长为nm对应的波长点光强值为,波长为nm对应的波长点光强值为,波长为nm对应的波长点光强值为 ,则最终选定特征波长点分别为:、光谱图像中光强值对应的两个波长点,光谱图像中光强值对应的两个波长点;其中光强值所对应的两个波长点其中一个的波长为nm,另一个设定为nm,光强值所对应的两个波长点其中一个波长为nm,另一个设定为nm,由上通过五点均值法计算获取对应的标定波长的最终计算公式为:; 若,则最终选定特征波长点分别为、光谱图像中光强值对应的两个波长点,光谱图像中光强值对应的两个波长点,其中光强值所对应的两个波长点其中一个为nm,另一个设定为nm,光强值所对应的两个波长点其中一个为nm,另一个设定为nm,由上通过五点均值法计算获取对应的标定波长的最终计算公式为:; 步骤4:根据波长点及精细标定电压进行手动微调,获取波长点的最终标定电压; 步骤5:验证最终标定电压是否为波长点的准确标定电压,具体包括:根据步骤3中选定的特征波长点为nm、nm或nm、nm及波长点在最终标定电压的光谱图像进行标定结果验证; 若步骤3中选择的特征波长点为nm、nm,则在光谱图像中分别找出与波长点nm和nm光强值相同的波长点,将上述4个波长点及波长点的波长计算平均值,若计算结果与波长点的波长相同,则最终标定电压为波长点的准确标定电压;若步骤3中选择的特征波长点为nm、nm,则在光谱图像中分别找出与波长点nm和nm光强值相同的波长点,将上述4个波长点及波长点的波长计算平均值,若计算结果与波长点的波长相同,则最终标定电压为波长点的准确标定电压。
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