长电集成电路(绍兴)有限公司符海军获国家专利权
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龙图腾网获悉长电集成电路(绍兴)有限公司申请的专利一种晶圆整平结构、装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115799113B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211520187.9，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种晶圆整平结构、装置及方法是由符海军;林煜斌;梁新夫;孟俊臣;夏剑;李义胜设计研发完成，并于2022-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆整平结构、装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆整平结构，包括外壳、设置在所述外壳上部的下压装置以及隔离垫，所述外壳的底部和所述下压装置之间能够容纳翘曲晶圆堆叠体，所述下压装置用于对所述翘曲晶圆堆叠体进行施压；所述翘曲晶圆堆叠体包括多个翘曲晶圆以及设置在任意相邻两个所述翘曲晶圆之间的所述隔离垫。本发明还公开了一种晶圆整平装置及方法。本发明通过将隔离垫间隔放置在翘曲晶圆之间，可实现多片翘曲晶圆的同时整平，还能防止粘黏，大大提高翘曲晶圆的整平效率，降低企业的工业化成本。
本发明授权一种晶圆整平结构、装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆整平结构，其特征在于，包括外壳、设置在所述外壳上部的下压装置以及隔离垫，所述外壳的底部和所述下压装置之间能够容纳翘曲晶圆堆叠体，所述下压装置用于对所述翘曲晶圆堆叠体进行施压；所述翘曲晶圆堆叠体包括多个翘曲晶圆以及设置在任意相邻两个所述翘曲晶圆之间的所述隔离垫； 所述翘曲晶圆包括凸式翘曲晶圆和或凹式翘曲晶圆，所述隔离垫间隔放置在多个翘曲晶圆之间将所述翘曲晶圆隔离，翘曲晶圆堆叠体中的凸式翘曲晶圆和或凹式翘曲晶圆采用任意放置方式，所述隔离垫采用耐高温隔离纸。
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