北方夜视科技(南京)研究院有限公司李涛获国家专利权
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龙图腾网获悉北方夜视科技(南京)研究院有限公司申请的专利采用真空烘烤工艺提升MCP增益的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115631984B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211236994.8,技术领域涉及:H01J9/12;该发明授权采用真空烘烤工艺提升MCP增益的方法是由李涛;邱祥彪;王健;丛晓庆;张振;乔芳建;李玉飞;徐昭;陈晓倩设计研发完成,并于2022-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本采用真空烘烤工艺提升MCP增益的方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种采用真空烘烤工艺提升MCP增益的方法,在使用皮料玻璃管和芯料玻璃棒作为基础,经两次拉丝、排屏、热熔压、切片、粗磨、抛光、腐蚀、氢还原、镀膜工艺,获得微通道板原片,微通道板膜层已完成。在此之后,再将微通道板原片置于真空环境中,以预设的烘烤温度进行高温烘烤后,获得高增益的微通道板。本发明通过在制备获得微通道板原片之后,将微通道板原片再置于真空环境中,以预设的烘烤温度进行高温烘烤后,通过高温高真空的烘烤,将镀膜工艺中可能吸附的各种气态反应物与产物进行去除,获得高增益的微通道板,所得的微通道板的增益通过真空烘烤的过程控制,包括烘烤温度、烘烤时间的控制,可实现至少104以上的增益。
本发明授权采用真空烘烤工艺提升MCP增益的方法在权利要求书中公布了:1.一种采用真空烘烤工艺提升MCP增益的方法,其特征在于,在使用皮料玻璃管和芯料玻璃棒作为基础,经两次拉丝、排屏、热熔压、切片、粗磨、抛光、腐蚀、氢还原和镀膜工艺,获得微通道板原片之后,将微通道板原片置于真空环境中,通过在镀膜工艺完成之后额外增加一真空烘烤工艺,以预设的烘烤温度进行高温烘烤,获得高增益的微通道板,所得微通道板的增益大于等于104; 其中,所述额外增加的真空烘烤工艺中,其真空环境的真空度小于1×10-4Pa,烘烤温度控制在200~400℃,烘烤时间为2~8h。
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