东方晶源微电子科技(北京)有限公司何振飞获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)有限公司申请的专利SEM图像前景提取方法、装置、计算机设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115619813B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211291459.2,技术领域涉及:G06T7/194;该发明授权SEM图像前景提取方法、装置、计算机设备及存储介质是由何振飞设计研发完成,并于2022-10-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本SEM图像前景提取方法、装置、计算机设备及存储介质在说明书摘要公布了:本发明涉及计算光刻图像分析技术领域,具体涉及一种SEM图像前景提取方法、装置、计算机设备及存储介质。方法包括步骤:获取待处理的SEM图像并将SEM图像二值化;检测经二值化后的SEM图像中的所有连通域并进行第一次标记;基于第一次标记拆分所述SEM图像;对拆分后的每一SEM图像进行轮廓提取以得到轮廓提取图并进行第二次标记;基于第二次标记将轮廓提取图进行图像拼接以得到SEM图像前景图像。本发明的前景提取方法结果准确率大幅增高及拆分速度较高。本发明的提取装置、计算机设备及存储介质具有与SEM图像前景提取方法相同的有益效果,在此不再赘述。
本发明授权SEM图像前景提取方法、装置、计算机设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种SEM图像前景提取方法,其特征在于:所述SEM图像前景提取方法包括以下步骤: 获取待处理的SEM图像并将所述SEM图像二值化; 检测经二值化后的SEM图像中的所有连通域并进行第一次标记; 基于所述第一次标记拆分所述SEM图像,得到多个拆分后的SEM图像; 对所述拆分后SEM图像进行像素化处理,得到原始矩阵; 对所述原始矩阵进行高斯滤波处理后得到图像矩阵; 将所述图像矩阵划分多个预设大小的分块矩阵,找出每个所述分块矩阵内梯度值最大的中间像素点; 对所有所述分块矩阵内的中间像素点进行筛选,并在所述中间像素点的梯度值大于预设的梯度阈值的情况下,将所述中间像素点作为关键像素点,并记录所述关键像素点的坐标和梯度方向; 在所述图像矩阵中,以所述关键像素点的坐标为起点,沿所述关键像素点的所述梯度方向在预设寻找范围内,确定最亮的像素点,并将该像素点作为峰值点; 基于所有所述峰值点,组成点对点的距离矩阵,其中,所述距离矩阵中的各个元素表征峰值点之间的距离信息; 在连接所述峰值点的时候,按距离当前峰值点远近的顺序从小到大依次遍历所有峰值点并将符合选取条件的峰值点进行第二次标记; 以所述第二次标记将所述峰值点进行有序连接以提取出所述拆分后的SEM图像的轮廓提取图; 基于所述第二次标记后的峰值点,将多个所述拆分后的SEM图像对应的所述轮廓提取图进行图像拼接以得到SEM图像前景图像。
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