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株式会社TSE李薰九获国家专利权

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龙图腾网获悉株式会社TSE申请的专利可防止故障的探针块阵列测试装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115598391B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210692577.8,技术领域涉及:G01R1/073;该发明授权可防止故障的探针块阵列测试装置是由李薰九;韩相学设计研发完成,并于2022-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。

可防止故障的探针块阵列测试装置在说明书摘要公布了:本发明涉及一种可防止故障的探针块阵列测试装置。更详细地,涉及如下的可防止故障的探针块阵列测试装置,即,在拆卸探针单元时,可在探针块移送部的所在位置与拆卸位置不同的情况下防止因探针块掉落而损坏测试装置及被测对象,可在使探针单元结合时防止探针块移送部位于已安装有探针块的位置或将探针块安装到与目标位置不同的位置。

本发明授权可防止故障的探针块阵列测试装置在权利要求书中公布了:1.一种可防止故障的探针块阵列测试装置,其通过精密控制探针块来测试被测对象基板的图案是否不良,能够实现单个探针块的自动精密控制,上述可防止故障的探针块阵列测试装置的特征在于, 包括: 基座部,包括梁; 基板放置部,配置于上述基座部的上部,通过在上表面放置被测对象来移动基板; 探针门架,配置于上述基板放置部的一侧,与通过上述基板放置部移动的上述被测对象基板的至少一部分相接触,以测量上述被测对象的电特性; 探针块储存部,配置于上述探针门架的后方一侧,能够装载一个以上的上述探针块;以及 探针块移送部,配置于上述探针门架与上述探针块储存部之间的一侧,用于向上述探针门架移送上述探针块或收回上述探针块, 上述基板放置部包括: 平板状的装载板部,包括贯通表面而成的一个以上的吸附孔,能够通过上述吸附孔吸附上述被测对象; 吸附单元,配置于上述装载板部的下部,能够通过上述吸附孔来将上述被测对象吸附到上述装载板部; 拆装销部,配置于上述装载板部的下部,通过形成于上述装载板部的贯通孔上下移动来调节上述被测对象的拆装;以及 接触引导部,配置于上述拆装销部的下部,以能够使放置在上述装载板部的上述被测对象与上述探针门架相接触的方式来使得上述装载板部上下移动, 上述探针门架还包括: 接触台部,安装有一个以上的具有能够与上述被测对象基板相接触的探针销的上述探针块,能够根据上述被测对象基板的位置来调整位置; 第一对齐摄像头,配置于上述接触台部的一侧,为了对齐上述探针块与上述被测对象基板的位置而能够沿着第一方向移动并识别上述被测对象基板上的对齐标记; 第二对齐摄像头,能够拍摄上述探针销与上述被测对象基板的接触垫之间的位置是否对齐;以及 探针块控制器,为了基于从上述第二对齐摄像头获得的拍摄信息来实现对齐,能够单独移动上述探针块, 上述第二对齐摄像头包括: 第二对齐摄像头控制器,配置于上述梁的一侧,能够操作上述第二对齐摄像头沿着第一方向及第三方向移动,以便为了精密测量上述被测对象基板和上述探针块的上述探针销之间的位移是否一致而进行超近距离拍摄;以及 块控制运算部,判断上述被测对象和上述探针块的位移是否一致, 上述块控制运算部包括: 第一方向位移运算部,通过对比上述被测对象和上述探针块的第一方向位移来判断是否修改上述探针块的第一方向位移; 第二方向位移运算部,通过对比上述被测对象和上述探针块的第二方向位移来判断是否修改上述探针块的第二方向位移;以及 第三方向位移运算部,通过对比上述被测对象和上述探针块的第三方向位移来判断是否修改上述探针块的第三方向位移, 上述探针块控制器包括: 探针块把持部,能够按照上述探针块的单位进行抓取; 第一方向位移控制器,能够实现上述探针块的第一方向位移微移操作; 第二方向位移控制器,能够实现上述探针块的第二方向位移微移操作;以及 第三方向位移控制器,能够实现上述探针块的第三方向位移微移操作, 上述探针块移送部包括: 探针块抓取部,能够装载或卸载探针单元; 第一方向驱动部,能够按照上述探针块抓取部的单元来实现第一方向位移微移操作; 第二方向驱动部,能够实现上述探针块抓取部的第二方向位移微移操作;以及 第三方向驱动部,能够按照上述探针块抓取部的单元来实现第三方向位移微移操作, 上述探针块包括: 探针单元,能够根据被测对象的型号来在上述探针块进行拆装; 第一信号部,配置于上述探针块的一侧,检测上述探针单元是否结合,若上述探针单元未与上述探针块相结合,则产生用于引导上述探针块移送部进行移动的第一信号,若上述探针单元与上述探针块相结合,则不产生第一信号;以及 第一被结合部,与上述探针单元相结合, 上述探针单元包括: 第一检测部,以能够检测是否与上述探针块相结合的方式与上述第一信号部相接触; 第一结合部,配置于上述探针单元的一侧,与上述第一被结合部相结合;以及 第二结合部,配置于上述探针单元的另一侧,与上述探针块抓取部相结合, 上述探针块抓取部包括: 第二被结合部,与上述第二结合部相结合;以及 信号接收部,接收上述第一信号部产生的第一信号,以为了使上述探针单元与未结合有上述探针单元的上述探针块相结合而使得上述探针块移送部将上述探针单元移动到应结合的位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社TSE,其通讯地址为:韩国忠清南道天安市西北区稷山邑军需1街189号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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