日本电产理德股份有限公司高木范明获国家专利权
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龙图腾网获悉日本电产理德股份有限公司申请的专利检查装置以及检查方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115485572B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180031140.3，技术领域涉及：G01R31/50；该发明授权检查装置以及检查方法是由高木范明;郡司庆太设计研发完成，并于2021-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本检查装置以及检查方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种检查装置以及检查方法，其容易对基板的制造偏差引起的静电电容的偏差进行修正。基板检查装置是对形成有配线及基准配线的多个基板进行检查的检查装置，且所述检查装置中，包括：测定部，测定各基板的配线及基准配线的静电电容作为测定电容；平均电容计算部，计算自在设计上被设置为相同配线的基准配线测定出的测定电容的平均值作为平均电容；以及电容修正部，在将多个基板中的一个作为目标基板的情况下，计算作为目标基板的检查对象的目标配线的测定电容的修正值即修正电容，且电容修正部通过将目标基板的配线的平均电容相对于测定电容的比率乘以目标配线的测定电容，来计算修正电容。
本发明授权检查装置以及检查方法在权利要求书中公布了：1.一种检查装置，对分别形成有在设计上被设置为相同配线的配线的多个基板进行检查，且所述检查装置中，包括： 测定部，测定所述各基板的配线的静电电容作为测定电容； 平均电容计算部，计算自所述在设计上被设置为相同配线的配线测定出的测定电容的平均值作为平均电容；以及 电容修正部，在将所述多个基板中的一个作为目标基板的情况下，计算作为所述目标基板的检查对象的目标配线的所述测定电容的修正值即修正电容，且 所述电容修正部通过将所述目标基板的配线的所述平均电容相对于所述测定电容的比率乘以所述目标配线的所述测定电容，来计算所述修正电容。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人日本电产理德股份有限公司，其通讯地址为：日本京都府向日市森本町东口1-1日本电产园区C栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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