国仪量子(合肥)技术有限公司阴达获国家专利权
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龙图腾网获悉国仪量子(合肥)技术有限公司申请的专利场发射扫描电子显微镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115472480B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211223370.2，技术领域涉及：H01J37/14；该发明授权场发射扫描电子显微镜是由阴达;孙斌;张伟设计研发完成，并于2022-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本场发射扫描电子显微镜在说明书摘要公布了：本发明公开了一种场发射扫描电子显微镜，所述场发射扫描电子显微镜包括源方束张角控制镜、物镜、设于所述源方束张角控制镜和所述物镜之间的像方束张角控制镜、设于所述源方束张角控制镜和所述像方束张角控制镜之间的光圈，所述源方束张角控制镜设有第一极靴，所述像方束张角控制镜设有第二极靴，所述物镜设有第三极靴，所述第一极靴与所述光圈之间、所述光圈与所述第二极靴之间、所述第二极靴与所述第三极靴之间，其中的至少一处设有对中线圈。根据本发明实施例的场发射扫描电子显微镜，一方面能实现束流可调节和束张角优化的高度解耦，另一方面可以有效提高电子束调节的自由度，提高电子束与磁透镜的对中效果。
本发明授权场发射扫描电子显微镜在权利要求书中公布了：1.一种场发射扫描电子显微镜，其特征在于，包括源方束张角控制镜、物镜、设于所述源方束张角控制镜和所述物镜之间的像方束张角控制镜、设于所述源方束张角控制镜和所述像方束张角控制镜之间的光圈，所述源方束张角控制镜设有第一极靴，所述像方束张角控制镜设有第二极靴，所述物镜设有第三极靴， 所述第一极靴与所述光圈之间、所述光圈与所述第二极靴之间、所述第二极靴与所述第三极靴之间均设有对中线圈； 所述第一极靴与所述光圈之间的所述对中线圈位于所述源方束张角控制镜内，所述光圈与所述第二极靴之间的所述对中线圈位于所述像方束张角控制镜内，所述第二极靴和所述第三极靴之间的所述对中线圈位于所述物镜内。
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