吉林华微电子股份有限公司王翌博获国家专利权
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龙图腾网获悉吉林华微电子股份有限公司申请的专利硅片吸附装置及硅片转移设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224165111U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520591094.8，技术领域涉及：H10P72/78；该实用新型硅片吸附装置及硅片转移设备是由王翌博;曲坤设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本硅片吸附装置及硅片转移设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种硅片吸附装置及硅片转移设备，涉及硅片转移技术领域。上述装置包括真空吸盘、环状软垫、管状主体及连接组件。真空吸盘包括吸力吸附区以及环绕吸力吸附区的连接区域的吸附表面。吸力吸附区设置有与内部气路连通的真空孔，环状软垫固定在连接区域。真空吸盘及连接组件分别与管状主体相对的两端连通形成气流通路，连接组件用于连接抽气设备。通过抽气设备可以在吸力吸附区内形成负压，在吸附表面产生强大的吸力，达到吸取翘曲薄硅片的目的，其中，环状软垫能够紧密贴合翘曲薄硅片的背面，更好地适应硅片的表面轮廓，形成良好的密封环境，保证吸附稳定性，同时，环状软垫相比硬质表面还能减少吸附和释放硅片过程中的表面磨损。
本实用新型硅片吸附装置及硅片转移设备在权利要求书中公布了：1.一种硅片吸附装置，其特征在于，包括真空吸盘、环状软垫、管状主体及连接组件； 所述真空吸盘包括吸附表面，所述吸附表面包括吸力吸附区以及环绕所述吸力吸附区的连接区域，所述吸力吸附区设置有真空孔，所述环状软垫固定在所述连接区域； 所述真空吸盘及所述连接组件分别与所述管状主体相对的两端连通形成气流通路，所述连接组件用于连接抽气设备。
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