合肥晶合集成电路股份有限公司周吕超获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利一种晶圆存放装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224165089U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520630405.7，技术领域涉及：H10P72/10；该实用新型一种晶圆存放装置是由周吕超;舒炯设计研发完成，并于2025-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆存放装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆存放装置，涉及晶圆存放装置技术领域。晶圆存放装置包括：置物部，设置有若干插槽，所述插槽用于放置晶圆；水箱，所述水箱内设有内水槽和外水槽，所述晶圆放置于所述内水槽内，且所述内水槽的深度大于所述晶圆的直径；其中，所述内水槽底部设置有出水口，所述外水槽内设置有进水口，所述进水口与所述出水口通过第一管路连接，所述第一管路上设置有第一泵送装置，以使得液体由所述进水口流动至所述出水口。内水槽的设置出水口，外水槽设置有进水口，外水槽的液体通过进水口进入到内水槽的底部，后通过内水槽的顶部溢出至外水槽，从而在内水槽内形成流动的水，防止晶圆暴露在空气等外界环境中，方便对晶圆进行存放。
本实用新型一种晶圆存放装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆存放装置，其特征在于，包括： 置物部，设置有若干插槽，所述插槽用于放置晶圆； 水箱，所述水箱内设有内水槽和外水槽，所述晶圆放置于所述内水槽内，且所述内水槽的深度大于所述晶圆的直径； 其中，所述内水槽底部设置有出水口，所述外水槽内设置有进水口，所述进水口与所述出水口通过第一管路连接，所述第一管路上设置有第一泵送装置，以使得液体由所述进水口流动至所述出水口； 所述内水槽包括有出水区和溢流区，所述出水口设置于所述出水区，所述出水区内所容纳液体的深度大于所述溢流区内所容纳液体的深度；所述出水区设置于所述置物部的中部，所述溢流区位于所述出水区的两侧。
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