中国振华集团永光电子有限公司(国营第八七三厂)吴登昊获国家专利权
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龙图腾网获悉中国振华集团永光电子有限公司(国营第八七三厂)申请的专利一种碳化硅MOSFET结终端结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224165046U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521169633.5,技术领域涉及:H10D62/10;该实用新型一种碳化硅MOSFET结终端结构是由吴登昊;陈航;李欢设计研发完成,并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅MOSFET结终端结构在说明书摘要公布了:一种碳化硅MOSFET结终端结构,属于半导体器件技术领域。包括第一钝化层,N‑漂移区,N+衬底,阴极金属电极层,Pwell元胞过渡区,Pplus主结区,Pplus场限环区,Pwell主结区,Pwell场限环区,JTE主结区,JTE场限环区,阳极金属电极层,第二钝化层。Pwell元胞过渡区、Pplus主结区、Pplus场限环区、Pwell主结区、Pwell场限环区、JTE主结区、JTE场限环区从左到右依次制作在N‑漂移区的上面。每两个结终端扩展结构的交界区域为场限环。解决了现有碳化硅MOSFET的场限环结构占用面积大和结终端扩展结构工艺复杂的问题。广泛应用于碳化硅MOSFET设计与制造技术中。
本实用新型一种碳化硅MOSFET结终端结构在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅MOSFET结终端结构,其特征在于: 包括第一钝化层1,N-漂移区2,N+衬底3,阴极金属电极层4,Pwell元胞过渡区5,Pplus主结区6,Pplus场限环区7,Pwell主结区8,Pwell场限环区9,JTE主结区10,JTE场限环区11,阳极金属电极层12,第二钝化层13; 所述阴极金属电极层4位于N+衬底3的底面; 所述N-漂移区2位于N+衬底3的顶面; 所述Pwell元胞过渡区5、Pplus主结区6、Pplus场限环区7、Pwell主结区8、Pwell场限环区9、JTE主结区10、JTE场限环区11从左到右依次制作在N-漂移区2的上面,Pwell元胞过渡区5与Pplus主结区6相邻,Pplus场限环区7与Pwell主结区8相邻,Pwell场限环区9与JTE主结区10相邻; 所述第一钝化层1制作在Pwell元胞过渡区5和部分Pplus主结区6的上方; 所述第二钝化层13制作在部分Pplus主结区6、Pplus场限环区7、Pwell主结区8、Pwell场限环区9、JTE主结区10和JTE场限环区11的上方; 所述阳极金属电极层12制作在部分Pplus主结区6的上方,位于第一钝化层1与第二钝化层13之间。
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