上海法安仕半导体科技有限公司邱勇获国家专利权
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龙图腾网获悉上海法安仕半导体科技有限公司申请的专利一种半导体控压阀门机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224162086U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521229964.3，技术领域涉及：F16K1/36；该实用新型一种半导体控压阀门机构是由邱勇设计研发完成，并于2025-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体控压阀门机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体控压阀门机构，涉及半导体设备真空控压阀门技术领域，包括第一阀体组件。所述阀体组件包括阀体本体，所述阀体本体的底部设置有密封压杆驱动组件，所述密封压杆驱动组件的顶部通过第一螺栓连接有密封压杆本体。所述阀板组件包括阀板底座，所述阀板底座的底部安装有阀板驱动组件，所述悬挂臂的底部通过第三螺栓连接有阀板本体。该半导体控压阀门机构，在使用过程中，采取单轴同步驱动的方式，避免双轴驱动同步性差异而影响密封效果，并且通过阀板密封配合密封压板的辅助密封方式，可以进一步提高阀门机构的密封性，同时控压阀门机构整体采用装配式的抽屉式设计，便于产品后续的维护检修作业的进行。
本实用新型一种半导体控压阀门机构在权利要求书中公布了：1.一种半导体控压阀门机构，包括第一阀体组件1，所述第一阀体组件1的右侧设置有阀板组件2，所述阀板组件2通过第四螺栓4固定于阀体组件1的右侧，所述阀体组件1和阀板组件2构成一个完整的控压阀门机构； 其特征在于：所述阀体组件1包括阀体本体1.1，所述阀体本体1.1的底部设置有密封压杆驱动组件1.2，所述密封压杆驱动组件1.2的顶部通过第一螺栓1.3连接有密封压杆本体1.4，所述密封压杆本体1.4位于控压阀门机构的内部左侧； 所述阀板组件2包括阀板底座2.1，所述阀板底座2.1的底部安装有阀板驱动组件2.2，所述阀板驱动组件2.2的顶部通过第二螺栓2.6连接有悬挂臂2.5，所述悬挂臂2.5位于控压阀门机构的内部右侧，所述悬挂臂2.5的底部通过第三螺栓2.8连接有阀板本体2.3，所述阀板本体2.3与阀门的开口处正对设置。
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