智慧星空(上海)工程技术有限公司;广东星空科技装备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉智慧星空(上海)工程技术有限公司;广东星空科技装备有限公司申请的专利运动台的标定方法及其装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120674344B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510089065.6,技术领域涉及:H10P72/00;该发明授权运动台的标定方法及其装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本运动台的标定方法及其装置在说明书摘要公布了:本申请提供一种运动台的标定方法及其装置,属于半导体制造技术领域,该方法将带有线段标记与特征标记的标定用标记板置于运动台上,采集运动台旋转前后的标记板图像并提取各线段标记与特征标记旋转前后的位置坐标;根据位置坐标构建方向向量来计算旋转角度的余弦值和正弦值,以确定运动台旋转角度;再依据位置坐标计算各连线向量,确定垂直平分线单位向量,结合旋转角计算旋转中心沿该单位向量的距离,再结合旋转方向确定运动台旋转中心位置坐标。本申请避免了机械和装配误差传递累计,规避了拟合处理的系统性偏差,且标定过程直观易操作,有力保障了运动台运动控制精度和稳定性。
本发明授权运动台的标定方法及其装置在权利要求书中公布了:1.一种运动台的标定方法,其特征在于,所述方法包括: 将带有线段标记与特征标记的标定用标记板置于运动台上,采集运动台旋转前后的标记板图像,并从采集到的图像中提取旋转前后各线段标记的位置坐标和各特征标记的位置坐标; 根据旋转前后的位置坐标构建方向向量,分别计算旋转前后方向向量的模长、点积与叉乘,并根据所述点积、叉乘以及旋转前后方向向量的模长,计算各组方向向量对应旋转角度的余弦值和正弦值;先对每组方向向量对应的旋转角度的正弦值除以余弦值的结果求反正切,并将所有求得的反正切结果相加,再将相加的总和除以方向向量的组数,以确定运动台的旋转角度; 根据旋转前后的位置坐标计算各连线向量,基于所述连线向量确定垂直平分线单位向量,结合所述旋转角度计算旋转中心沿该单位向量的距离,再结合旋转方向确定运动台的旋转中心位置坐标。
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