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龙图腾网获悉智慧星空(上海)工程技术有限公司;深圳智达星空科技(集团)有限公司申请的专利一种紫外光刻投影物镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116009365B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310109386.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种紫外光刻投影物镜是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2023-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种紫外光刻投影物镜在说明书摘要公布了：本发明属于无掩模光刻技术领域，具体涉及用于高密度PCB、LCD和MEMS设计及制造的一种紫外光刻投影物镜。应用于混合或单色紫外光刻光源的投影，包括自物面至像面光轴一致的第一透镜组G1、孔径光阑、第二透镜组G2、第三透镜组G3和第四透镜组G4；第一透镜组G1具有正的光焦度；所述第二透镜组G2具有正的光焦度；所述第三透镜组G3具有负的光焦度；第四透镜组G4具有正的光焦度；其中，所述紫外光刻投影物镜为物、像方双远心结构且不包括非球面。本发明提出一种结构简单、性能良好的可用于紫外SLM光刻的紫外光刻投影物镜，该物镜可以工作在365nm～405nm的混合或单色光源中，其具有结构简单、透镜加工成本低、像差良好、不含有非球面等优势。

本发明授权一种紫外光刻投影物镜在权利要求书中公布了：1.一种紫外光刻投影物镜，其特征在于，应用于混合或单色紫外光刻光源的投影，由自物面至像面光轴一致的第一透镜组G1、孔径光阑、第二透镜组G2、第三透镜组G3和第四透镜组G4组成； 第一透镜组G1具有正的光焦度；所述第二透镜组G2具有正的光焦度；所述第三透镜组G3具有负的光焦度；第四透镜组G4具有正的光焦度； 其中，所述紫外光刻投影物镜为物、像方双远心结构且不包括非球面； 所述第一透镜组G1包括：平凹正透镜L1、双凸正透镜L2、弯月负透镜L3和双凸正透镜L4； 所述第二透镜组G2包括：双凸正透镜L5、双凹负透镜L6和双凸正透镜L7； 所述第三透镜组G3包括双凸正透镜L8、双凹负透镜L9、弯月负透镜L10和弯月负透镜L11； 所述第四透镜组G4包括双凸正透镜L12； 所述第一透镜组G1、孔径光阑、第二透镜组G2、第三透镜组G3和第四透镜组G4满足以下关系： 0.72|f1f2|1.12 0.83|f2f3|1.23 0.26|f3f4|0.66 0.23|f1f4|0.63 0.03|f1fL|0.09 1.67VL2VL42.61 1.93VL5VL62.23 1.93VL8VL91.93 其中：f1：第一透镜组G1的焦距；f2：第二透镜组G2的焦距；f3：第三透镜组G3的焦距；f4：第四透镜组G4的焦距；fL：所述紫外光刻投影物镜的整体系统焦距；VL2:双凸正透镜L2材料的阿贝数；VL4:双凸正透镜L4材料的阿贝数；VL5:双凸正透镜L5材料的阿贝数；VL6:双凹负透镜L6材料的阿贝数；VL8:双凸正透镜L8的阿贝数；VL9:双凹负透镜L9材料的阿贝数。

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