上海精测半导体技术有限公司缪晖华获国家专利权
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龙图腾网获悉上海精测半导体技术有限公司申请的专利样品传输装置及半导体设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114334760B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111475100.6,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权样品传输装置及半导体设备是由缪晖华设计研发完成,并于2021-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本样品传输装置及半导体设备在说明书摘要公布了:本发明揭示了一种样品传输装置,用于在半导体设备的腔体内传输样品,包括:传送台,用于放置样品;传送杆,用于推拉所述传送台以在腔体内传输样品;恒力组件,所述恒力组件的一端连接所述传送杆,所述恒力组件对传送杆施加恒定拉力。本发明还揭示了一种半导体设备,包括:腔体以及所述样品传输装置。在本发明提供的样品传输装置及半导体设备中,使用恒力组件为传送杆提供恒定拉力,从而有效地防止静置的传送杆和传送台滑动,并能够有效地排除传送杆因发生滑动导致传送台发生碰撞的隐患。
本发明授权样品传输装置及半导体设备在权利要求书中公布了:1.样品传输装置,用于在半导体设备的腔体内传输样品,其特征在于,包括: 传送台,用于放置样品; 传送杆,用于推拉所述传送台以在腔体内传输样品; 恒力组件,所述恒力组件的一端连接所述传送杆,所述恒力组件对传送杆施加恒定拉力,所述传送杆上设置转动件,所述转动件能够绕传送杆的轴向转动,所述恒力组件的一端连接所述转动件,所述转动件保持与所述传送杆的相对静止; 所述恒力组件对传送杆施加的恒定拉力大于或者等于腔体与大气之间基于真空度差异所产生的压力。
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