浙江创芯集成电路有限公司李嵘获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利尾气处理装置以及半导体加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224150952U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520866926.2，技术领域涉及：F23G7/06；该实用新型尾气处理装置以及半导体加工设备是由李嵘;刘智远;杨波;赵超设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本尾气处理装置以及半导体加工设备在说明书摘要公布了：一种尾气处理装置以及半导体加工设备，其中尾气处理装置包括：反应腔体，反应腔体的顶部具有第一通孔；尾气收集管道，尾气收集管道的底部具有第二通孔，尾气收集管道的顶部具有第三通孔，尾气收集管道底部与反应腔体的顶部可拆卸连接，且第二通孔与第一通孔连通；清洗刮环，清洗刮环位于尾气收集管道内；伸缩气缸，伸缩气缸的第一端与清洗刮环固定连接，伸缩气缸贯穿于第三通孔。通过在尾气处理装置内的尾气收集管道中设置清洗刮环，且清洗刮环与伸缩气缸固定连接，即在伸缩气缸运动时能够带动清洗刮环在尾气收集管道内上下运动，进而实现对尾气收集管道内壁的清洁，增加了尾气收集管道内的尾气通入量，提高了尾气处理装置的工作效率。
本实用新型尾气处理装置以及半导体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种尾气处理装置，其特征在于，包括： 反应腔体，所述反应腔体的顶部具有第一通孔； 尾气收集管道，所述尾气收集管道的底部具有第二通孔，所述尾气收集管道的顶部具有第三通孔，所述尾气收集管道底部与所述反应腔体的顶部可拆卸连接，且所述第二通孔与所述第一通孔连通； 清洗刮环，所述清洗刮环位于所述尾气收集管道内； 伸缩气缸，所述伸缩气缸的第一端与所述清洗刮环固定连接，所述伸缩气缸贯穿于所述第三通孔。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江创芯集成电路有限公司，其通讯地址为：311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层(自主申报)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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