苏州芯慧联半导体科技有限公司孙连伟获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州芯慧联半导体科技有限公司申请的专利一种供液设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224150707U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521028915.3,技术领域涉及:F17D3/12;该实用新型一种供液设备是由孙连伟;吴志远;程亚飞设计研发完成,并于2025-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种供液设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种供液设备,属于光刻胶稀释技术领域,包括放置在主设备一侧的储存柜,储存柜内设有红外传感器,储存柜的一侧设有消防柜,储存柜内设有储液罐,储液罐通过供液泵与主设备连通,储液罐通过补液泵连通有稀释剂小桶,储存柜的一侧设有供气机构,供气机构包括第一供气部、第二供气部和第三供气部,第一供气部与储液罐连通,第二供气部与供液泵连通,第三供气部与补液泵连通。储液罐中多余的氮气和稀释剂蒸汽以及少量空气的混合危害气体通过有机排气通道排出,储存柜单独连通厂务排气,少量泄漏气体直接从厂务排气管道排出,通过稀释剂小桶向储液罐中补充稀释剂,通过供液泵将储液罐中的稀释剂补入主设备中,完成原料的切换。
本实用新型一种供液设备在权利要求书中公布了:1.一种供液设备,其特征在于:包括放置在主设备31一侧的储存柜33,所述储存柜33内设有红外传感器32,所述储存柜33的一侧设有消防柜34,所述储存柜33内设有储液罐5,所述储液罐5通过供液泵9与所述主设备31连通,所述储液罐5通过补液泵13连通有稀释剂小桶1,所述储存柜33的一侧设有供气机构,所述供气机构包括第一供气部、第二供气部和第三供气部,所述第一供气部与所述储液罐5连通,所述第二供气部与所述供液泵9连通,所述第三供气部与所述补液泵13连通,所述储液罐5连通有废气处理设备29,所述储液罐5连通有废液处理设备11。
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