江苏微导纳米科技股份有限公司康旭获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利处理设备、镀膜设备、调整件及处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116926509B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310878200.6，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权处理设备、镀膜设备、调整件及处理方法是由康旭;严大;张鹏;施述鹏设计研发完成，并于2023-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本处理设备、镀膜设备、调整件及处理方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种处理设备、镀膜设备、调整件及处理方法，包括出气结构及匀气板，出气结构具有贴合位，贴合位具有第一气孔，匀气板具有第二气孔，匀气板贴合于贴合位，且第二气孔与第一气孔连通。本申请的处理设备，可以实现向壳体内部的反应腔均匀送气，在处理设备作为镀膜设备时，实现对基片的均匀镀膜。
本发明授权处理设备、镀膜设备、调整件及处理方法在权利要求书中公布了：1.一种处理设备，其特征在于，包括： 出气结构，具有贴合位，贴合位具有第一气孔； 匀气板，所述匀气板上具有第二气孔； 调整件，所述调整件具有第一气流通道；所述调整件包括固定部及压紧轴，所述固定部与所述匀气板连接且内部具有容纳腔；所述压紧轴具有相对设置的第一端和第二端，所述第二端与所述贴合位贴合，所述第一气流通道开设于所述压紧轴上且一端延伸至所述第二端；所述第一端与所述固定部活动连接且被构造为能够在所述容纳腔内移动； 其中，所述匀气板贴合于所述贴合位，且所述第二气孔与所述第一气孔连通；所述调整件被构造为用于在所述匀气板贴合于所述贴合位时，压紧所述匀气板和所述贴合位，且所述第二气孔通过所述第一气流通道与所述第一气孔连通。
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