上海交通大学王廷炎获国家专利权
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龙图腾网获悉上海交通大学申请的专利一种提升氢致变色薄膜氢响应性能的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116926488B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310913322.4，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种提升氢致变色薄膜氢响应性能的制备方法是由王廷炎;陈娟;张祯;彭立明;郭昊铭;钟智邺;方浩澜设计研发完成，并于2023-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种提升氢致变色薄膜氢响应性能的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种提升氢致变色镁基薄膜氢响应性能的制备方法，包括在采用磁控溅射制备镁基氢敏反应层过程中，调整磁控溅射工艺中的氩气流量为20sccm～100sccm的步骤。本发明利用磁控溅射过程中氩气流量的调控，可以影响溅射原子碰撞频率和平均自由程，从而改变薄膜生长条件，改变薄膜的显微结构，方便快捷地提高了氢致变色薄膜的吸脱氢速率。本方法工艺简单，可重复性强，性能提升显著，在氢气传感领域具有重要应用前景。
本发明授权一种提升氢致变色薄膜氢响应性能的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种提升氢致变色薄膜氢响应性能的制备方法，其特征在于，所述方法具体包括以下步骤： S1、对基片进行表面清洁预处理，保持表面清洁干燥； S2、采用直流磁控溅射共溅射法在上述预处理后的基片上，沉积镁基氢敏反应层；沉积过程中控制通入的氩气流量为40sccm，以调整所述镁基氢敏反应层微结构； S3、采用直流磁控溅射的方法在镁基氢敏反应层上原位沉积催化层，使之继承S2步骤所形成的微结构； S4、采用化学气相沉积的方法，在催化层上沉积聚合物层； 所述镁基氢敏反应层为镁-钪膜层、镁-钇膜层、镁-钆膜层中的任一种； 所述催化层的材料为Pd。
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