安徽微芯长江半导体材料有限公司殷仲阳获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽微芯长江半导体材料有限公司申请的专利一种可加快坩埚悬空冷却吊具获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116924218B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310951605.8,技术领域涉及:B66C1/44;该发明授权一种可加快坩埚悬空冷却吊具是由殷仲阳;高攀;贺贤汉设计研发完成,并于2023-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可加快坩埚悬空冷却吊具在说明书摘要公布了:本发明公开了一种可加快坩埚悬空冷却吊具,涉及到碳化硅晶体制备技术领域,包括用于将生长炉内坩埚吊起悬空冷却的重力夹持吊具,还包括利用所述坩埚所带热量作为动力源为所述坩埚进行散热的热动力散热机构。本发明结构合理,本发明在原吊具上增设热动力散热机构,本冷却吊具利用坩埚自身的热量进行发电并给电机提供电能,并利用产生的风力对坩埚进行散热,可加快坩埚的悬空冷却速度,且本热动力散热机构散热效果温和,并不会对坩埚以及晶体产生影响。
本发明授权一种可加快坩埚悬空冷却吊具在权利要求书中公布了:1.一种可加快坩埚悬空冷却吊具,包括用于将生长炉内坩埚1吊起悬空冷却的重力夹持吊具2,其特征在于:还包括利用所述坩埚1所带热量作为动力源为所述坩埚1进行散热的热动力散热机构3; 所述重力夹持吊具2包括底盘21,所述底盘21的轴心处安装有限位立柱22,且所述立柱22的上端滑动设置在拉杆23的内腔,所述底盘21上呈圆周安装有若干个安装件25,且每个所述安装件25上均转动安装有夹持杆26,每个所述夹持杆26的下端均活动安装有接触面与所述坩埚1外表面适配的夹持板28,多个所述夹持杆26的上端均通过连接杆27与所述拉杆23活动连接,所述拉杆23的上端安装有吊环24; 通过起吊设备将所述拉杆23向上拉起,所述拉杆23带动所述连接杆27的一端向上运动,进而使得所述夹持杆26的上端以所述安装件25的连接点为轴心向外旋转,从而使得若干个所述夹持板28对所述坩埚1进行夹持固定; 所述热动力散热机构3包括散热端与所述底盘21下端固定安装的温差发电片31以及沿所述底盘21外壁周围布置的若干个弧形安装板32,若干个所述弧形安装板32上均开设有若干个安装孔33,且每个所述安装孔33的内腔均设置有叶轮34,每个所述叶轮34均安装在与所述温差发电片31电性连接的电机的输出轴上; 所述温差发电片31的金属吸热端与坩埚盖上端接触; 所述底盘21的内腔设置有储液腔,且所述储液腔内填充有低沸点液体,所述底盘21的上端设置有若干个靠近所述叶轮34设置的散热铜管35,且所述散热铜管35为螺旋向上延伸结构; 还包括旋转散热机构4,所述旋转散热机构4包括与若干个所述弧形安装板32对应设置的若干个集流罩41,所述集流罩41为下宽上窄结构,单个所述散热铜管35均位于相对应所述集流罩41的内腔,所述集流罩41的上端与排气管43连接,若干个所述排气管43的排气口沿若干个所述排气管43所围成圆的切线方向设置,所述拉杆23通过连接件5与所述吊环24转动连接。
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